贵州大学《集成电路制造工艺》ppt课件 7 掺杂工艺.pptx

半导体的掺杂工艺;在IC制造中主要采用热扩散法和;热扩散是集成电路制造工艺中最基;一、扩散运动与扩散工艺§1.1;PowerPoint演示文稿;三.固相扩散工艺;PowerPoint演示文稿;（1）填隙式扩散;PowerPoint演示文稿;（2）替位式扩散;(3)填隙-替位式扩散;多数杂质即可以是替位式也可以是;§1.2晶体中扩散的基本特点与;描述扩散运动的基本方程。在单位;PowerPoint演示文稿;PowerPoint演示文稿;PowerPoint演示文稿;PowerPoint演示文稿;PowerPoint演示文稿;PowerPoint演示文稿;PowerPoint