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贵州大学《集成电路制造工艺》ppt课件 2-2 双极型集成电路制作工艺.pdf

贵州大学《集成电路制造工艺》ppt课件 2-2 双极型集成电路制作工艺.pdf

    双极型逻辑集成电路

    第一章双极型集成电路制作工艺

    1-1电学隔离

    所有晶体管的集电极都在外延层上，隔离的目的是

    使不同隔离区的元件实现电隔离。

    （1）反偏PN结隔离

    （2）全介质隔离

    （3）混合隔离元件

    （1）反偏PN结隔离

    通过外延，选择性扩散等工艺方法，将

    芯片划分为若干个由P区包围的N型区，P区

    接电路中的最低电位，使PN结反偏。利用

    反偏PN结对器件进行隔离。

    接电路中

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