CN119555260A 一种静电卡盘静电力的测试方法及系统 （鸿舸半导体设备(上海)有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119555260A

(43)申请公布日2025.03.04

(21)申请号202510128073.7

(22)申请日2025.02.05

(71)申请人鸿舸半导体设备（上海）有限公司

地址201306上海市浦东新区临港新片区

天骄路399号2号多层厂房

(72)发明人杨亚辉

(74)专利代理机构北京超凡宏宇知识产权代理

有限公司11463

专利代理师王晓菲

(51)Int.Cl.

G01L5/00(2006.01)

权利要求书3页说明书9页附图3页

(54)发明名称

一种静电卡盘静电力的测试方法及系统

(57)摘要

CN119555260A本申请提供了一种静电卡盘静电力的测试方法及系统，其中，该方法应用于静电卡盘静电力的测试系统中的数据处理模块，该系统还包括：待测试的静电卡盘、测试用的晶圆、封闭腔室、压力传感器、气体管道、气体泄露检测仪；该方法包括：控制气体管道中的气体压力逐步增加，以使被吸附的晶圆受到的向上的顶推力逐步增大；通过气体泄露检测仪检测气体管道中的气体是否泄露到封闭腔室内，当气体泄露检测仪检测到气体管道中的气体泄露到封闭腔室内时，确定气体泄露时刻压力传感器检测到的气体管道中的气体压力的压力值；根据压力值计算静电卡盘的有效静电力；有效静电力用于表征静电卡盘