CN119759140A 半导体量测检测机台的温度控制方法以及相关设备 （深圳中科飞测科技股份有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119759140A

(43)申请公布日2025.04.04

(21)申请号202311287931.X

(22)申请日2023.09.28

(71)申请人深圳中科飞测科技股份有限公司

地址518109广东省深圳市龙华区观澜街

道新澜社区观光路1301-14号101、102

(72)发明人陈鲁马砚忠温朗枫高志民赵晓乐张嵩

(74)专利代理机构深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙)44285

专利代理师范友飞

(51)Int.Cl.

G05D23/30(2006.01)

权利要求书3页说明书10页附图3页

(54)发明名称

半导体量测检测机台的温度控制方法以及

相关设备

(57)摘要

CN119759140A本申请实施例公开了一种半导体量测检测机台的温度控制方法、温度控制设备以及计算机可读存储介质，用于在提高半导体量测检测机台的温度控制的精确度的情况下，进行半导体量测检测机台的温度控制。本申请实施例方法包括：将当前温度和目标温度输入温度PID控制算法，得到温度PID控制算法输出的加热电容对应的第一功率，将目标温度输入深度学习模型，得到深度学习模型输出的加热电容对应的第二功率，基于第一功率和第二功率确定目标功率，并基于目标功率生成加热电容的功率控制