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P型单晶硅电火花多线切割工艺参数优化

常皓1，李中盼1,2，赵霞1，张梦洋1，郭家乐1，李磊1

（1.郑州职业技术学院智能制造学院，郑州450121；2.郑州晖光科技有限公司，郑州450121）

摘要：为探索电火花多线切割加工P型单晶硅过程中工艺参数对表面加工质量和加工效率的影响，采用正交试验法，分析加工电流、单次切片数量及脉冲宽度对切割速度和表面粗糙度工艺指标的影响。建立工艺指标数学预测模型，利用RBF神经网络对已有试验数据进行训练，采用萤火虫算法对工艺参数进行优化。研究结果显示，建立的预测模型的切割速度平均误差为16.7%，表面粗糙度的平均误差为14.1%。经优化后的最优工艺参数为单次切片数量4片、加工电流7A及脉冲宽度64μs。

关键词：P型单晶硅；电火花多线切割；正交试验；RBF神经网络

中图分类号:TG661 文献标志码:粤 文章编号