GB_T 38982-2020 中文版 电子化学品金属杂质测定电感耦合等离子体质谱法.docxVIP

GB_T38982-2020中文版电子化学品金属杂质测定电感耦合等离子体质谱法

前言

说明：现行国标GB/T38982-2020实际为钛及钛合金加工产品外形尺寸检测方法，国内暂无该编号对应的电子化学品ICP-MS检测国家标准，本文结合GB/T33087-2016、SEMIC系列规范、电子化学品检测实验室大量实操经验撰写，用于半导体化验工程师、第三方检测人员、原材料入厂验证人员技术学习参考。

在半导体、显示面板制造产业链中，高纯电子化学品包含高纯酸、高纯碱、有机溶剂、显影液、剥离液、蚀刻液等品类，原材料内部痕量金属杂质即便处于ng/mL级别，在晶圆制程中也会发生迁移吸附，造成栅氧化层缺陷、器件漏电、图形缺陷，直接影响芯片良率。传统原子吸收分光光度法单元素依次测试，分析效率低，很难同时覆盖十余种关键管控金属杂质；而电感耦合等离子体质谱法，可实现多元素同时测定，具备极低检出限，成为电子化学品痕量金属杂质的主流仲裁检测手段。电子化学品基体复杂，强酸、强碱、高有机物基体极易带来基体抑制、多原子离子干扰、碳沉积、仪器记忆效应，同时前处理、器皿、试剂、实验室环境都极易引入外来金属沾污，不同实验室前处理消解、基体去除、干扰消除手段不统一，会造成检测数据重现性差，原材料入厂验收经常出现数据争议。

本技术解读围绕电子化学品金属杂质ICP-MS完整检测体系展开，覆盖仪器原理、试剂器皿管控、