GB_T 11446.5-2013 中文版 电子级水测试方法 痕量金属原子吸收分光光度测定.docxVIP

GB_T11446.5-2013中文版电子级水测试方法痕量金属原子吸收分光光度测定

前言

在半导体、显示面板、湿电子化学品生产工艺体系中，电子级水中铜、锌、镍、铁、铅、钠、钾等痕量金属杂质，即便处于纳克每升级别的极低浓度，依旧会在晶圆表面发生富集，诱发器件漏电、栅氧化层缺陷、金属线路腐蚀，直接拉低芯片良率。电阻率指标仅能够反映水体总离子水平，无法区分不同金属组分，必须依靠原子吸收等手段完成单元素定量分析。高纯电子级水金属杂质含量极低，取样器皿、试剂、实验室环境、石墨炉管路都极易引入外来金属污染，过去行业缺少统一标准化操作流程，不同实验室之间检测重现性差，数据难以用于仲裁判定。

GB/T11446.5-2013《电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法》2013-12-31发布，2014-08-15正式实施，替代旧版GB/T11446.5-1997，属于GB/T11446电子级水整套标准体系第五部分，归口中国电子技术标准化研究院，与阴离子、全硅、TOC、微粒、细菌总数等检测方法共同构成电子级水完整检验矩阵。该标准区分无火焰石墨炉原子吸收与火焰原子吸收两套检测模式，明确铜、锌、镍、铁、铅、钠、钾七种目标检测元素，石墨炉法适配EW-Ⅰ~EW-Ⅲ高等级电子级水，火焰法用于EW-Ⅳ等级电子级水，同时允许采用灵敏度相当的ICP-MS、ICP-OES作为等效测试手段，完整规定