CN119354109A CDSEM快速量测方法、装置、介质、程序产品及终端 （芯恩（青岛）集成电路有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119354109A

(43)申请公布日2025.01.24

(21)申请号202411426222.X

(22)申请日2024.10.12

(71)申请人芯恩（青岛）集成电路有限公司

地址266000山东省青岛市黄岛区太白山

路19号德国企业南区401

(72)发明人刘畅

(74)专利代理机构上海光华专利事务所(普通

合伙)31219

专利代理师倪静

(51)Int.Cl.

G01B15/00(2006.01)

H01L21/66(2006.01)

权利要求书2页说明书12页附图3页

(54)发明名