基于古斯汉欣效应的皮米级位移传感器的实验研究.pdfVIP

10 激《光鬈 荤 的皮米 需凄 妻．N。．．加 · 实验技术与装置 · 基于古斯汉欣效应的皮米级位移传感器的实验研究 胡红武 (宜春学院，物理科学与工程技术学院，江西 宜春 336000) 提要：本文利用光束在对称双面金属包覆波导表面反射时古斯一汉欣 (Goos—Hanchen)位移具有极大的增强效应，提出一种灵敏度的极高 的新型位移传感器。与传统的光强传感器相比，这种传感器消除了光源的能量波动对灵敏度的影响，从而能够观测更加微小的位移变化。在 实验上实现了8pm微小位移传感。研究表明，该器件测量实时性强、精确度较高、设备简单、成本低、易于调节等诸优点，预计在微加工等领域 具有很高的研究和应用价值。 关键词：衰减全反射；古斯汉欣效应；微小位移；传感器 中图分类号：TN248．1 文献标识码 ：A 文章编号：0253—2743(2o11)05—0010—02 ExperimentalstudyondisplacesensorbasedontheGoos——H_~ chenEffect HU Hong—wu (SchoolofPhysicsScienceandEngineeringTechnology，YichunUniversity，Yichun336000。China) Abstract：Inthispaper。anovelkindofdisplacesensorwasproposed，whichutilizinghtee~uacde Goos—H~chendisplacecausde byalihgtbeam reflectiononhtesurfaceofasysmmetricalmetal—claddingwaveguide．Comparedwithtradionallightintensitysensor，htiskindofesnsorcandetectmoresmall displacechnagebyeliminatingtheinfluenceofhteenergyfluctuationofthelaseronesnsitivity．A8pro displacechnageWaSdetectde inhteexperiment．Thiskind ofdisplaceesnsor。whichpromisesna wideapplication infieldofmicrofabrication。havevariouskindsofmeritsIsuchas bettermeasurementintime，higher esnsitivity，easyfabricationnadlowercost，etc． Keywords：ATR；Coos—h~tneheneffect；smalldisplace；esnsor 随着高精密加工技术的发展 ，对微小位移的测量精度提 l 原理 出了越来越高的要求…1。目前测量微小位移技术很多，主要 有波长干涉法l2l、石英晶振法E3j。波长干涉法利用薄膜上下 本文提出的基于古斯汉欣效应的位移传感器结构示意 两面反射光波的干涉效应，通过对条纹移动的计数来测量膜 图如图 1所示。整个结构 由两部分组成。第一部分是 固定 厚，其不足是探测器得到的信号是周期性的，若不采用计数 于基座且底面镀有薄金膜 (50m )的大顶角玻璃棱镜，该底面 装置将无法分辨干涉条纹的级数 ，并且由于采用条纹计数方 薄金膜作为双面金属包覆波导的耦合层；第二部分是由两面 法，因而膜厚测量精度取决于 四分之一波长，也就是 100～ 镀有较厚金膜 (30Ohm)的z切型铌酸锂 (HNb03)薄片，其中Z 200nm左右；石英晶振法是利用石英晶体振荡器作为探头与 切型铌酸锂的上层金膜与棱镜底面金膜一 同构成双面金属 样品一起镀膜 ，但 由于镀膜引起探头质量的变化，进而引起 包覆波导 ，