基于ANSYS的石英晶体板厚度剪切振动的有限元分析.pdfVIP

. , . :,... . 也 .. . .弱 ,. ..勰. 、啦 勰,, , . .. . : , , 基于的石英晶体板厚度剪切振动的有限元分析 王骥史俊杜建科 浙江省宁波市风华路号宁波大学机械与力学学院压电器件技术实验室 ,.... 有限元分析作为一种有效的数值方法,可以用来分析包括压电石英晶体谐振器在内的复杂结构的振动。谐振器通 常工作在频率较高的厚度剪切.模态。使用板理论可以得到在石英晶体谐振器设计中十 分重要的直行波位移和振动频率的解析解。但是当结构比较复杂时,例如板厚变化、带有电极和考虑支架时,位 移的空间分布就很难获得。而这些解对于解释有限板厚度剪切振动中的主要性质,如频率变化和位移约束又很重 要。比较精确的解决方案只能使用有限元方法。随着通用有限元软件诸如,,,以 及等的逐渐成熟和个人电脑性能的提高,这些功能强大的工具已广泛用于石英晶体谐振器高频振动的 设计。我们选择基于个人电脑和的作为分析平台,对典型的矩形和圆形石英晶体谐振器进行了 分析,得到的位移分布的准确解可用于结构参数优化。 关键词:厚度剪切振动,有限元法,,压电声波谐振器,弹性板,石英晶体 有限元方法。而有限元方法的实现可以通过三维压电 . 引言 理论或者板理论【.】。由于用于求解特征 值的线性体系的规模的不同,两者消耗的计算资源和 对石英晶体板厚度剪切.振动进 时间也有显著差异。计算机的运算能力总是受限的, 行分析的经典方法是使用板理论,在给定结 再加上早期通用有限元软件的局限性,致使许多研究 构参数,诸如长厚比和宽厚比的情况下,对简化后模 者开发一些基于板方程的自定义有限元分析 型的振动进行预测】。但是这样的方法在结构和边 工具,这些拥有特殊功能的工具在石英晶体谐振器设 界复杂时显得无能为力,位移的空间位移分布也很难 计领域获得了成功。另一方面,个人计算机性能的不 获得,因为采用板振动近似方程得到的解析解只能是 断提高和通用有限元软件功能的日趋完善,使得越来 直行波或者一维解。解决这个问题的有效途径是使用 越多的人愿意使用这些方便实用的软件,而这些软件 . ??//.◎ 也的确能够提供令人满意的计算功能,比如完全不需 间的耦合非常强烈】。而另外一些尺寸,例如很薄 的板,又会使模型需要划分的单元过多。因此,为了 要简化就可以对几何形状复杂,涉及多场耦合的三维 得到较为清晰的厚度剪切模态,同时又不至于使计算 模型进行分析】。本文使用的是面向个人电脑的 量过大,根据以往的理论和实验分析结果,我们分别 通用有限元软件,安装环境为 对矩形板和圆板的尺寸作了如下定义: 操作系统。最终的计算结果证明,所提供的 图所示的矩形板模型参数: 模态分析功能,适合对石英晶体板的厚度剪切振动作 ×,×,.× 出模拟,并得到我们需要的振动频率和位移分布。 图所示的圆形板模型参数: . 问题的描述 一. 由于本文计算的是三维各项异性板的自由振动,且不 考虑压电效应的影响。所以,虽然我们使用了 中的模块,选择了这样的耦 合场单元,但是在预处理时并未定义材料的压电常数 和介电常数。从而在计算中忽略了电场的影响以及压 电耦合。这里只需要选择材料的弹性常数和密度,甚 至不必加载约束,便可在网格划分后直接使用模态分 析选项,在给定的频率区间上计算出模型的一系列振 动模态,其中包括振动频率和振动形式。而由于在高 频段,使用有限元计算得到的模态结果数目众多【】, 图.圆形板模型. 这个频率区间的选取成了能否找到需要的厚度剪切 .、析 七. 模态的关键冈素。我们根据从弹性理论得到的该模态 频率的计算公式 计算使用节点六面体单元,这种 单元可以用来模拟各向异性材料。为使有限元结果更 厂去而 加准确,模型的网格划分一般采取一个波长至少 其中,为板厚半长,为弹性常数,为密度。估 个节点的原则。所以对于厚度剪切模态,厚度方向最 计了有限元模拟时,此模态出现的大致频率范围。 好划分个以上的单元。同时,单元的长、宽、高差 对于厚度×的切石英晶体板,公 别不能过大,以免影响精度。 式计算得出的厚度剪切模态频率为.。 为了使得最后的有限元计算得到频率值的近似为, .材料参数的选定 以便于观察同一模态频率的变化和调整模态的求解 区间,计算前要先根据这一公式对频率进行归一化处 分析使用的压电材料是切石英晶体。参考文献 理,即每个弹性常数都要乘以/酯。 】设定其中的弹性常数为: , . 算例 【舶 . .. . ...有限元模型建立 .. ... . .. .. . . ... . . . . . ×/. 石英晶体密度为: / 图.矩形板模型. 在中输入弹性常数时,需要注意它们的 .丑 . 排列顺序。不同于通常的 ,,,排列,软 对于板在某些尺寸,在高频振动时,各种振动形式之 件中