HF酸处理对石英玻璃355 nm激光损伤影响研究.pdfVIP

中国科技论文在线 HF 酸处理对石英玻璃355 nm 激光损伤影 响研究*# 迟海军，高勋** 5 （长春理工大学理学院） 摘要：本文利用 HF 酸处理提高石英玻璃 355nm 激光诱导损伤阈值，通过优化 HF 溶液浓度以及石英玻璃 表面的酸处理时间，石英玻璃的透过率和损伤阈值均有所提高，均随 HF 酸浓度以及酸处理时间的增加呈 现先增加后下降变化。实验结果表明质量分数 10%的 HF 浓度刻蚀 60 分钟后石英玻璃的激光损伤阈值为 15.17 J/cm2，相比酸处理前提高了 167.5%。对比分析了相同激光能量密度作用下有无HF 酸处理石英玻璃 10 表面损伤面积变化，最后给出了 HF 酸处理提高石英玻璃的激光诱导损伤阈值机制。 关键词：激光损伤阈值；石英玻璃；HF 酸处理 中图分类号：TN204 Study of HF