CO2激光直写PMMA微通道工艺改进的实验研究.pdfVIP

第 38卷 第 6期 中 国 激 光 Vo1．38，No．6 2011年 6月 CHINESEJOURNALOFLASERS June，2011 CO2激光直写PMMA微通道工艺改进的实验研究 申雪飞 陈 涛 (Jg京212业大学激光工程研究 院，北京 100124) 摘要 采用 CO：激光直写加工技术在聚 甲基 内烯酸 甲酯 (PMMA)基片表面直写微通道 ，分析 了 COz激光扫描速 度和加工次数对加工质量的影响 。在加工次数相同的情况下 ，微通道宽度和深度与扫描速度成反 比，在一定速度 范围内，微通道深度与扫描速度呈近似线性关系 ；在扫描速度一定 的情况下 ，微通道 的深度 和宽度随着加工 次数的 增加逐渐增大 ，微通道宽度与加工次数呈不规则幂 函数关系 。分别在表面光滑 、表面打毛和表面 附着水膜 的基片 上加工微通道 ，并对通道的几何尺寸和粗糙度进行 了比较分析 。在 2种不 同实验条件下加工出水力直径为 80 m 的微通道 ，并对微通道 的相对粗糙度进行 比较 ，发现通过在基片表面附着水膜 的方法可以有效地 降低相对粗糙度 。 这种工艺改进 ，能够使采用 CO。激光直写法加工 PMMA基微流控芯片更可行 。 关键词 激光技术 ；微通道 ；CO 激光 ；直写烧蚀 ；相对粗糙度 中图分类号 TN249 文献标识码 A doi：10．3788／CJL201138．0603030 ImprovementofProcessingTechniqueofCO2LaserDirect W ritingon PMMA M icrochannels Shen Xuefei ChenTao (InstituteofLaserEngineering，B8 ingUniversityofTechnology，Bering100124，China) Abstract C02laserdirect—writingablation micromachiningtechniqueiSusedtofabricatethemicrochanneIonthe polymethylmethacrylate(PMMA)substrate．Thecorrelationbetween theprocessparameters(thebeam translational velocityand the processing numberoftimes) and the micromachining quality (the width and the depth ofthe microchanne1)isinvestigated．Foragivenprocessingtimes，thedepthandwidthofmicrochannelbothdecreasealong with theenhancementofbeam translationalvelocity．Atfixedbeam translationalvelocity，thedepth andwidth are directproportion to theprocessingtimes-respectively．ThemicrochannelisfabricatedondifferentPMMA substrates with smooth surface，rough surface and surface adhering water．The micromachining quality and the surface roughnessofthe microchannelarecompared．The microchannelwith ahydraulicdiameter