全SU8微悬臂梁的制备及其弹性系数表征.pdfVIP

第４２卷 第１期 福州大学学报（自然科学版） Ｖｏｌ．４２Ｎｏ．１ ２０１４年２月 ＪｏｕｒｎａｌｏｆＦｕｚｈｏｕＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ（ＮａｔｕｒａｌＳｃｉｅｎｃｅＥｄｉｔｉｏｎ） Ｆｅｂ．２０１４ ＤＯＩ：１０．７６３１／ｉｓｓｎ．１０００－２２４３．２０１４．０１．００７０ 文章编号：１０００－２２４３（２０１４）０１－００７０－０５ 全 ＳＵ８微悬臂梁的制备及其弹性系数表征 周雄图，张永爱，郭太良 （福州大学物理与信息工程学院，福建 福州　３５０１１６） 摘要：采用Ｏｍｎｉｃｏａｔ作为牺牲层，经过两步光刻和湿法释放成功制备了全ＳＵ８结构的微悬臂梁，释放的成功 率超过９５％．针对ＳＵ８热膨胀系数大的缺点，对ＳＵ８微悬臂梁进行不同温度退火．采用原子力显微镜（ＡＦＭ） 系统对ＳＵ８微悬臂梁的弹性系数进行精确表征．结果表明，随着退火温度提高，ＳＵ８微悬臂梁弹性系数增大， －１ 对于２５０ ｍ长３．５ ｍ厚的悬臂梁，９５℃退火后，其弹性系数为０．５２５Ｎ·ｍ ；２００℃退火后，其弹性系数增 μ μ －１ 大到０．７４５Ｎ·ｍ ．所制备的微悬臂梁被成功用于表征ＳＵ８与玻璃基底之间的相互作用． 关键词：ＳＵ８；微悬臂梁；ＡＦＭ；弹性系数 中图分类号：ＴＨ１６１　 文献标识码：Ａ Ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎｏｆａｌｌ－ＳＵ８ｍｉｃｒｏｃａｎｔｉｌｅｖｅｒｓａｎｄｉｔｓｃｈａｒａｃｔｅｒｉｚａｔｉｏｎｏｆｓｐｒｉｎｇｃｏｎｓｔａｎｔ ＺＨＯＵＸｉｏｎｇ－ｔｕ，ＺＨＡＮＧＹｏｎｇ－ａｉ，ＧＵＯＴａｉ－ｌｉａｎｇ （ＣｏｌｌｅｇｅｏｆＰｈｙｓｉｃｓａｎｄＩｎｆｏｒｍａｔｉｏｎＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＦｕｚｈｏｕＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｆｕｚｈｏｕ，Ｆｕｊｉａｎ３５０１１６，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：ＷｅｐｒｅｓｅｎｔａｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎｍｅｔｈｏｄｏｆＳＵ８ｍｉｃｒｏｃａｎｔｉｌｅｖｅｒｓｂｙｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｉｎｇｐｈｏｔｏｔｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ ａｎｄａｗｅｔｒｅｌｅａｓｅｔｅｃｈｎｉｑｕｅｕｓｉｎｇａｔｈｉｎｏｍｎｉｃｏａｔｆｉｌｍｆｏｒｅｆｆｉｃｉｅｎｔｒｅｍｏｖａｌａｔａｙｉｅｌｄｏｆａｂｏｖｅ９５％． ＴｈｅｓｐｒｉｎｇｃｏｎｓｔａｎｔｏｆｆａｂｒｉｃａｔｅｄＳＵ８ｍｉｃｒｏｃａｎｔｉｌｅｖｅｒｓａｎｎｅａｌｅｄｕｎｄｅｒｄｉｆｆｅｒｅｎｔｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｗｅｒｅｃｈａｒ ａｃｔｅｒｉｚｅｄｂｙａｐｐｌｙｉｎｇａｃｏｍｍｅｒｃｉａｌＡＦＭｓｙｓｔｅｍｄｕｅｔｏｔｈｅｔｈｉｃｋｂａｓｅ（ａｒｏｕｎｄ３００ ｍ），ｗｈｉｃｈｙｉｅｌｄ μ ａｍｏｒｅａｃｃｕｒａｔｅｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ．ＩｔｉｓｆｏｕｎｄｔｈａｔｔｈｅｓｐｒｉｎｇｃｏｎｓｔａｎｔｏｆａｓｆａｂｒｉｃａｔｅｄＴ－ｓｈａｐｅｄＳＵ８ｍｉ －１ ｃｒｏｃａｎｔｉｌｅｖｅｒｓｗｉｔｈｔｈｅｔｏｔａｌｌｅｎｇｔｈｏｆ２５０ ｍａｎｄｔｈｉｃｋｎｅｓｓｏｆ３．５ ｍｗａｓ０．５２５Ｎ·ｍ ，ａｎｄｉｎ μ μ －１ ｃｒｅａｓｅｄｔｏ０．７４５Ｎ·ｍ ｗｈｅｎｔｈｅａｎｎｅａｌｉｎｇｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｉｓ２００℃．Ｆｕｒｔｈｅｒｍｏｒｅ，ｔｈｅｓｅＳＵ８ｃａｎｔｉｌｅ ｖｅｒｓｗｅｒｅｄｅｍｏｎｓｔｒａｔｅｄｆｏｒｔｈｅｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｏｆｉｎｔｅｒａｃｔ