超精密加工装置的性能分析.pdfVIP

维普资讯 2008年3月 机床与液压 M 2008 第36卷 第3期 MACHINETOOL ＆HYDRAULICS V01．36No．3 超精密加工装置的性能分析 于兆勤，郭钟宁，黄志刚，黄小舟 (广东工业大学，广东广州510006) 摘要：超光滑表面加工技术是超精密加工体系的一个重要组成部分。介绍了流体二维振动超光滑表面加工新技术、实 验装置的组成及加工原理 ，并对实验装置的频率响应特性 、声场的分布等动态性能进行了测试和分析。 关键词：仿真；超光滑表面；超声振动 · 中图分类号：TG66 文献标识码：A 文章编号：1001—3881(2008)3—005—3 PerformanceAnalysisofaDeviceforSuper-precisionM achining YU Zhaoqin，GUO Zhongning，HUANG Zhigang，HUNAG Xiaozhou (GuangdongUniversityofTechnology，GuangzhouGuangdong510006，China) Abstract：Ultra—smooth surfacemachiningisoneoftheimportanttechnologiesofsuper—precisionmachining．Theprincipleand deviceoftheultra—smoothsurfacemachiningbasedontwo-dimensionliquidvibrationwaspresented．Thefrequencyresponsecharacters nadsoundfielddistributiondynamiccharacteristicsoftheexperimentaldeviceweret~tedandanalyzed． Keywords：Simulation；Ultra．smoothsurface；U1trasonicvibration 随着光学与微电子技术等的不断发展，对关键零 器，可以在水平和垂 件表面精度的要求越来越高，需要达到纳米甚至原子 直方 向同时施加超声 级。相应地，如何实现零件的超光滑表面已经成为精 振动；也可在工作槽 ． 密加工的一个重要研究课题 ，并越来越受到重视。近 的底部安装超声换 能 年来国内外的许多学者对高精度表面加工方法进行了 器，使流体产生垂直 研究，创造了很多新的超光滑表面抛光工艺。流体二 方向的超声振动，其 霎 维振动超光滑表面加工是一种新的超精密抛光方法， 频率为20—40kHz。工 该方法摒弃了传统抛光加工的抛光盘和抛光垫 ，以流 作槽 的左侧与激振器 体代替传统的抛光盘 ，并附加二维振动作为抛光作用 相连，用以产生水平 槽 力对工件进行抛光。工件在流体中的缓慢复杂平面运 方向的高频振动，振 动与流体的相对振动产生 “冲击研磨”效应，利用 动频 率 10—400OHz、 振幅为 0—5mm可调， 图1 实验装置原理图 流体分子 (或悬浮在流体 中的微细粒子)和工件原 子 (分子)问的物理 一化学作用完成材料去除。因 从而实现了流体的二维振动。由于二维超声振动场是 为用流体取代了抛光垫 ，消除了任何可能的机械接触 不均匀的，为了保证加工表面质量的均匀一致，在工 损伤。由于液体的自适应性，可以极大地降低加工的 作时变频调速电机通过减速器和行星机构带动工件安 控制难度 ，而且将加工与清洗合二为一有效防止工件