超精密平面研磨加工压力对精度的影响.pdfVIP

维普资讯 2008年 3月 机床与液压 Mar．2008 第 36卷 第 3期 MACHINETO0L HYDRAULICS VoI．36No．3 超精密平面研磨加工压力对精度的影响 高梅 (南京工业职业技术学院，江苏南京 210016) 摘要：研磨加工中研磨压力对加工效率 、表面粗糙度 、工件表面划痕等都有很大的影响，本义从力学的角度进行建 模，分析超精密平面研磨加工压力对精度的影响。结果表明：研磨效率随着研磨压力的增大而基本成正比地提高，研磨压 力增加到一定程度后 ，表面粗糙度基本保持不变。通过理论分析，为实际加工时加载研磨压力提供理论依据。 关键词：平面研磨；加工压力；精度 中图分类号：TH16 文献标识码：A 文章编号：1001—3881(2008)3一O18—3 EffectofProcessPressureonAccuracy inUltra-pricisionPlaneGrinding GA0 Mei (NanjingInstituteofIndustryTechnology．，NanjingJiangsu210016，China) Abstract：Machiningefficiency，surfaceroughnessandscratcharegreatlyinfluencedbytheprocesspressureinplane nding ． Themodelwasestablishedfrom theangleofmechanics，theinfluenceofprocesspressureonaccuracyinultra—pricisionplane nding wasanalyzed Theresultsshow thatgrindingeffieienc)increaseswiththegrindingpressure．Thesurfaceroughnesskeepsunchanging whengrindingpressurereaches10acertaindegree． Keywords：Planegrinding；Processpressure；Accuracy O 引言 持参与研磨的磨粒数量基本不变。 超精密平面研磨是超精密加工中最重要的方法之 单颗磨粒压人工件的示意图如图2所示 (该示 一 ， 在制造业 占有非常重要的地位且有着广阔的市场 意图为两颗磨粒D 和D)。 需求 ，光学镜面、计算机芯片、量块等都是使用超精 磨粒压人工件的 工件 密平面研磨加工出来的。超精密平面研磨过程中，如 深度 与工 件的硬度、 加 工 果研襄工艺参数配置不合理，如研磨压力选用不合 压入角度、施加压力 磨料 适 、磨盘硬度选用不合理、磨料尺寸分散性较大等， 之间的关系，可 以参 都会影响工件的加工效率及加工质量。 考材料力学中材料硬 图2 单颗磨粒压人工 1 建立力学模型 度的定义。在材料力