基于单晶硅线切割废砂浆的回收利用技术.pdfVIP

■用技术E 通过高耗能的高温化学或相变过程来回收。 主要按照以下步骤进行。 2 基于单晶硅线切割废砂浆的回收利用 第一步：将废砂浆搅拌加热至75～120℃，保温 2．1 单晶硅生产概况及其切割工艺 20～60rain，进行固液分离，得到一级悬浮液和一级 单晶硅以多晶硅为生产原料 ．广泛应用于电 固体颗粒。 子、能源，微电子等各个领域。太阳能电池就是以 第二步：搅拌加热所述一级悬浮液至40～60℃， 高纯的单晶硅棒为原料，纯度要求99．9999％。实 过滤，得到二级悬浮液和二级固体颗粒。 际中为降低成本对材料要求有适当放宽，有时也可 第三步 ：将所述二级悬浮液搅拌加热至 40～ 利用半导体器件加工的头尾料和废次单晶硅材料复 75cc．而后使用中空纤维膜进行超滤。得到三级悬 拉太阳能所用单晶硅棒。随着半导体工业及光伏产 浮液和三级固体颗粒。 业的高速发展。目前市场对单晶硅的需求也呈逐步 第四步 ：将所述三级悬浮液在 65—90cI=下蒸发 增长趋势．仅在 “十一五”期间，我国单晶硅产量 至无水，得到切割液。 就突破了30％以上的增长 第五步：将所述一级固体颗粒、二级固体颗粒 在太阳能电池制备中需要将单晶硅切成硅片， 和三级固体颗粒加入水中，超声混匀 25～45rain． 理论上在切割过程中会有44％的晶硅以粉末形式混 得到固体颗粒悬浮液。 入切割料浆．实际上这一数值则会高达50％～52％， 第六步：将所述 固体颗粒悬浮液加入浮选药 这势必造成了晶体硅的极大浪费，增加了生产成 剂，搅拌 1245rain，静置45—90min，进行浮选 ， 本。图1为生产中多丝线切割示意图。 得到浮选物和沉淀产物 晶圆厚度 刀横 第七步：将所述浮选物烘干得到碳化硅。同时 将所述沉淀产物依次进行酸洗，水洗 ，烘干后得到 硅粉。 3 实验案例 根据上述思想 ，对线切割单晶硅片工艺中废砂 浆进行了如下操作，实验中所用碳化硅和切割液的 直径 质量比例为 1：0．92，具体步骤如下。 加热 (90℃)搅拌废砂浆40min，然后进入沉 图 1 单晶硅线切割 降式离心机进行固液分离，得到一级悬浮液和一级 如果能将切割过程所产生废砂浆 中的高纯硅 固体颗粒。 粉、碳化硅进行回收利用，将会减少污染，提高资 加热搅拌一级悬浮液 ．使其通过板框压滤机． 源利用率，特别如能将废砂浆中高纯硅回收并用于 得二级悬浮液和二级固体颗粒。 太阳能电池的制造中，这对缓解多晶硅原料紧缺具 搅拌二级悬浮液并加热到60cCl．通过聚丙烯腈 有重大意义．也将带来可观的经济效益。 中空纤维膜超滤 ，中空纤维膜 的截 留分子量为 2．2 项 目所用方法 67000Da，得三级悬浮液和三级固体颗粒。将三级 针对以上情况，笔者对单晶硅线切割废砂浆的 悬浮液在 80℃下蒸发水分，得到