莫尔条纹三维精细测量方法的研究与应用.pdfVIP

维普资讯 第 21卷第 1期 上 海 工 程 技 术 大 学 学 报 V01．2lNO．1 2007年 3月 JOURNALOFSHANGHAIUNIVERSITYOFENGINEERINGSCIENCE M ar 2007 文章编号 ：1009 444X(2007)0l 0001 06 莫尔条纹三维精细测量方法的研究与应用 裘建新 ，檀 亮 ，钟 平 (1．上海工程技术大学 机械 【程学 院，上海 201620；2上海交通大学 机械与动力工程学 院 上海 200240；3．东华大学 理学 院，上海 201620) 摘要 ：以微 电子基板 的三维形貌测量为背景 ，研究了莫尔条纹精细测量机械量 的机理与方法。 为微 电子基板及其他信息产品(如 电视机荫罩)提供非接触、快速和高精度的测量技术。 关键词 ：莫尔条纹 ；三维形貌 ；测量 ；图像处理 中图分类号 ：TH ll3、2 l；TP391．41 文献标志码 ：A 3-D TopographyMeasurementbyMoir6Fringe QIU Jianxin ，TAN Liang一，ZHONG Ping (1CollegeofMechanicalEngineering，ShanghaiUniversityofEngineeringScience，Shanghai201620，China 2．SchoolofMechanicalEngineering，ShanghaiJiaotongUniversity，Shanghai200240，China； 3．CollegeofMechanicalEngineering，DongHuaUniversity，Shanghai201620，China) Abstract：Using 3 D topography measurementofmicroelectronicssubstrate asthebackground，thispaper studiedthemechanism and method ofaccuratemeasured mechanicalquantity through Moir6fringe，which providedanon—contact．high speedandhigh accuracymeasuringtechniqueforthemicroe1ectronicssubstrate andforotherinformationproducts(1ikeshadowmask)． Keywords：moirfifringe；3一D topography；measurement；imageprocessing 表面形貌对于机械零件表面特性 ，如摩擦 、磨 耗 的测量要求 ，本文研究了扫描莫尔条纹精细测量 损 、润滑 、腐蚀 、疲 劳、涂层等，具有举足轻重 的影 微 电子基板的三维形貌的方法 。主要工作是 ：研究 响。随着科学技术的发展 ，物体表面的三维形貌精 利用参考光栅和被测试基板产生莫尔干涉条纹 的 确测量与评估在工业检测上得到 了越来越广泛的 基本规律 ；通过计算机分析干涉条纹 的信息特征 ， 重视和应用 。机械接触式测量方法 由于存在测量 并利用莫尔条纹信息重建被测物体表面 的三维图 力，测量时间长 、精度低 ，难以适应工业测量越来越 像 ，以确定基板全貌形状特性和表面变形。 高的精度要求。非接触式的光学投影式三维测量 术具有高响应 、高分辨率 、大数据量快速处理及 受 1 莫尔条纹三维测量方法的发展 环