柔性衬底非晶硅%2f微晶硅叠层太阳电池隧穿复合结研究.pdfVIP

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·486· 第十~届中国光伏大会暨展览会会议论文集 柔性衬底非晶硅/微晶硅叠层太阳电池隧穿复合结研究 姚文杰 曾湘波。 彭文博 刘石勇 谢小兵 肖海波 王 超 (中国科学院半导体研究所,北京100083) 摘要用等离子增强化学沉积方法在柔性不锈钢(stainlesssteel--SS)衬底上制备了n—i—P非晶硅/微晶硅 叠层太阳电池,重点研究了叠层电池隧穿复合结中非晶硅复合层的掺杂比例(BzH6/Sill。)及其厚度对隧穿复 合结FV性质的影响。通过调节复合层的掺杂比例和生长时间得到了电阻和整流特性最小的隧穿复合结。 将该隧穿复合结应用到电池后得到了初始效率达11.2%的非晶硅/微晶硅叠层电池。 关键词 复合层;隧穿复合结;非晶硅/微晶硅叠层太阳电池 Recombinationin TandemSolar Junction Tunneling Micromorph CellsonFlexibleSubstrates Yao WcnboLiu Xie WenjieZengXiangbo’PengShiyongXiaobing Haibo Chao Xiao Wang InstituteofSemiconductors,Chineseof (The 100083,China) AcademySciences,Beijing weremade chemical AbstractThe tandemsolarcells micromorph byplasma·enhancedvapordeposition (PECVD)onflexiblestainlesssteelsubstrates.Theeffectofthea-Si:Hrecombination the layer(RL)on 厶ycharacteristicsofthe recombinationwas the con— tunneling junctioninvestigated.Bychangingdoping with centrationandthe timeoftherecombination recombination deposition layer。thetunneling junction lowestresistanceandlest Wasattained.Thebestinitial ofacellwiththe rectifyingproperty efficiency opti· mized recombinationis11.2%. tunneling iunction recombination recombination tandemsolarcells Keywords layer;tunn

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