电子束熔炼多晶硅温度场的数值模拟.pdfVIP

第3O卷第6期 能源技术 Vo1．3O No．6 2009年 12月 ENERGY TECHNOI()GY 【)eC． 2009 电子束熔炼多晶硅温度场的数值模拟 王步根，黄以平 (桂林电子科技大学机 电工程学院，桂林 541004) 摘 要：采用有限元分析软件ANSYS对电子束熔炼多晶硅材料的工艺过程进行了数值模拟。 在不同的电子束熔炼工艺参数条件下，进行了多晶硅温度场变化情况的数值模拟，并对其行了分析 讨论。所得到的模拟结果较好地反应 了电子柬熔炼多晶硅温度场变化的特点。 关键词：电子束；多晶硅 ；有限元；温度场 中图分类号：TN304．1+2 文献标志码：A 文章编号：1005—7439(2009)06—0328—03 NumericalSimulationforTemperatureFieldofElectronBeam M eltingPolysilicon WANG Bu-gen，HUANG Yi-ping (SchoolofMechanical ElectronicEngineering，GuilinUniversityofElectronicTechnology，Guilin，541004，China) Abstract：FiniteelementsoftwareANSYS，inthispaperlpolysiliconmaterials，electron-beam meltingprocess wasnumericallysimulated．TheuseofANSYStocalculatetheelectronbeam meltingprocessparameterstochange theconditionsoftemperaturepolysiliconchangesinvalues，andthesituationwerediscussed．Polysiliconmaterials forthepreparationofagoodprovidesatheoreticalbasis，theactualproductionhascertainreferencevalue． Keywords：electronbeam ；polysilicon finiteelement；temperaturefield 多晶硅作为 目前太阳能光伏 电池的主要材料， 研究电子束的主要参数对熔炼温度场的影响，为优 近年来需求量大大增加。光伏发电可以采用可再生 化熔炼工艺参数提高熔炼效率和质量提供依据。 的太阳能替代不可再生的矿物能源，但是多晶硅材 l 电子束熔炼多晶硅的原理及其特点 料的制造也要消耗很多能量，降低多晶硅生产能耗 电子束熔炼技术原理是高能密度的电子束轰击 和提高光伏电池的发电效率一样，从能源的角度出 熔炼金属，挥发是在 电子束熔炼过程中去除杂质的 发可以优化光伏发电的投入产出比，对多晶硅在光 主要途径，除杂的效果主要取决于杂质的蒸汽压力 伏发电中的应用前景有很大影响。 和炉 内的真空度及熔炼的温度。电子束熔炼在高真 目前生产多晶硅的主要技术西门子法，不仅生产 空下进行，电子束可以在瞬问将多晶硅材料加热至 流程长、工艺控制难、环境污染，而且能耗也较高。冶 高温状态，从而增加杂质元素的饱和蒸汽压力，各种 金法是一种新的多晶硅生产技术，不仅投资少，建设