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用于LCD的重氮萘醌系正性抗蚀剂的研究 周芳宇邹应全 北京师范大学化学学院，100875 摘要 文章是有关用于LcD的重氮萘醌系正性抗蚀荆的研究。本文采用线性酚醛树 脂作为成膜树脂。雀研究3。4。5一三羟基二苯甲酮、2，2’，4，《’-四羟基二摹甲酮分别与l，2．重氯 萘醌一5-磺酰氟、1，2_重氮蔡醌一4-磺酰氟进行酯化合成传统的感光荆的基础上，足研究开发出 别与1，2_重氮纂醌一5-磺酰氯和1，2-重氯萘醌《一磺酰氯进行酯化得到新型的感光剞，再以丙二 醇甲醚醋酸酯为有机溶剂，黼备成配方溶液。在11℃薄膜及11℃蔽璃上涂布·经过前烘焙、 曝光、显髟、后烘烙，得到正性抗蚀荆图像，进一步做成像性能实验，零知我们新开发的感光肢 感光度高，分辨率高，显影速度快。 美键词动能高分子材料正憔抗蚀荆 重氮萘醌感光荆 一、目U若 液晶显添器(I￡D)作为数字，文字、阌形，电视幽藤等的显示设备，已经渗透戴生产和消费的几 乎所有领域。涮造液晶显示器中的透明电般主鍪采讯光致抗蚀剂和光刻技术。“D光致抗蚀剂的 组成主肇包括：感光莉、成液树脂，有机溶荆。有代袭性的几家公司研究的都薤：l黧氮萘醺系正性抗 蚀剂。 D()N掰玎叮篷}MlCHEM公司和SAM陵烈G 豺醛树脂混合物，感光住、扰热性和敲射性提高【“。S剐Ⅵ瓢孙『G 缺陷少捌。 R髑earch 日本住友化学z业椿式会社、奇美实业股份有限公司和Industrial‰hnology 酯．与其混合的溶剂有t乙二醇独甲醚，乙二醇独丁醚[3]．奇美公司研究得出，蹶种酝化物的混合比纠 10％～60％对甲酚的混合物与甲醛反应得到的酚醛树脂(3000～18000Mw)时，感光胶的稳定燃，耐热 Re靶arch 性，感光度较高旧．1ndustr；alTechnoIogy 合物单体，三羟基笨与二羟基笨的混合物，在酸俄化荆下缩合得到。溶剂为乙二酩独甲醚醋酸酯、环戊 酮。由于成膜树脂巾含有三羟基苯和二羟綦苯，可以使用弱碱融影液(浓度低予1．5％的正礁酸钠溶液) ·54· 显影‘盯． 东京庵化工业株式会桂开发的抗蚀剂河样采用酚醛树脂，1，2-重氮萘醌一5一磺酰氯与酯化母体反应 得到感光捌，酯化母体除了2，3，4，-三羟基二苯甲酮、2，3，4，47一四羟基二苯甲酮以外，还有如下结构的 化合物：[¨1 树脂(6∞o～8000 的感光胶进行了成像性能的比较，可知我们制备的感光胶感光度较高，显影速度较恢。 二、实验 (一)酯化母体合成 以2，3，4_三羟麓二笨甲酮、2，2’，4，4’一四羟基二举甲酮、DHMC和D蹦K为酯化母体。 解，再降温至55℃发粉(此时咒晶体析出)，缓慢滴加乙酰乙酸乙酯。滴加完毕磊缓慢升温至有棕黄色 物质析出，停虎加热。水流抽滤，再用乙酸乙醵洗，抽滤，50℃时烘干至憾藿。最后掰工业洒精霾结晶。 反应方禚式如下． 0H b H+从A幽飞磐。 温至55℃左右。将二苯基羟基己酸溶于无水乙醇中，垒郝溶解后倒入上述黑色透明溶液中。反应维持 程式如下t OH 一 3哗擎 +h—c一一c。fJH’婴。4F 荡 H+h一{一∞fJH (二)感光荆合成 2，1，5_重筑蔡醌磺酰氯分别与DHMC和DI)BK的醍化反廒方程式如下； ·55· 渤 H0 0 兰己胲 2