X射线荧光光谱三十年.pdfVIP

2012年6月 岩 矿 测 试 Vo1．31．No．3 June2012 R0CK ANDMINERALANALYSIS 383 ～398 文章编号 ：0254—5357(2012)03—0383—16 x射线荧光光谱三十年 吉 昂 (中国科学院上海硅酸盐研究所，上海 200050) 摘要：x射线荧光光谱分析在 20世纪80年代初已是一种成熟的分析方法，是实验室、现场分析主、次量和 痕量元素的首选方法之一，在无损分析和原位分析中具有不可替代的地位。文章评述了三十年来x射线荧 光光谱分析的进展历程、波长色散 x射线荧光光谱仪 (WDXRF)、能量色散 x射线荧光光谱仪 (EDXRF)和 现场与原位分析用x射线荧光光谱仪发展过程及显示的特色。介绍了在 X射线的全反射和偏振性质基础 上相继推 出的偏振、微束、全反射等全新的x射线荧光光谱仪及其在众多领域的应用。回顾 了基体校正发 展历程和以Sherman方程为基础的基本参数法和理论影系数法在定量分析中的应用，并对学术界有关基体 校正的物理意义的争论、Sherman方程的局限性以及如何提高基本参数法在常规定量分析和半定量分析结 果的准确度的途径进行了探讨。总结了化学计量学与数据处理方法在XRF中的应用研究及进展，指出人工 神经网络方法与基本参数法相结合的算法，对于改善基体校正的准确度和稳定性开创 了一条新的途径。 关键词：x射线荧光光谱分析；三十年；基体校正；化学计量学 中图分类号 ：0657．34 文献标识码 ：A DevelopmentofX-rayFluorescenceSpectrometryinthe30Years 】lAng (ShanghaiInstituteofCeramics，ChineseAcademyofSciences，Shanghai200050，China) Abstract：X—rayFluorescenceSpectrometry(XRF)wasawellproventechnologyestablishedintheearly1980s， andwasthepreferredmethodformajor，minorandtraceelementsanalysisinthelabandfieldandsuitablefornon- destructiveanalysisand in situ analysis．In thispaper，thedevelopmentofXRF，Wavelength Dispersion XRF (WDXRF)，EnergyDispersionXRF (EDXRF)，andX—rayFluorescenceSpectroscopyforon—siteandin—situ analysisand theircharacteristicsofrthe last30 yearsarereviewed．Theapplication field and basison total reflectionandpolarizationpropertiesofrXRF，suchaspolarization EDXRF，microbeam XRFand totalreflection XRFarealsodiscussed．Thedevelopmenthistoryofmatrixcorrectionandthequantitativeanalyticalapplicationof thebasicparametricmethodoftheSherman equation reviewed．Thedebatesaboutthephysicalmeaningofthe matrixcorrectionintheresearchcommunityandthelimitationoftheShermanequationarediscussedindetail．The basicparametricmethodisdiscussedastohow toimprovetheaccuracyofresultsobtainedbyroutinequantitative analysisandsemi—quantitativeanalysis．Weconcludewiththeapplicationsofstoichiometryandda