溅射式压力变送器的研究.pdfVIP

E…☆qf}￡Rg＆${女}#¨g}$4￡￡《ti 溅射式压力变送器的研究 省刑于莹汤海泓 (中IqI程物理研究院总体l程研究所传感器研究审，阴JI|绵R{．621900) 【摘要】：采用离子束溅射沉积厦离子束十法剞蚀枝术制作7溅射薄膜压力传枣器．本丈阐述7该传 惑嚣的I作原理、结构设计厦生产I艺，并剥试7侍感器的零点输出特睫温度漂移特性等性能指标． 实验结果验证7溅射薄膜压力传感器的压力特Ⅱm厦离子束溉舯沉袒技术的优越性． 【关键词】=溅射薄腹．压力传感器 l引言 我们遇常生产的麻，立式乐力传感器的结构彤式中存在盲孔加I：．般缚元件的嵌I自】加I精膻难以倮 证，应变计采川粘接咬枇搂．使传堪器的蠕娈，漂移等现象难以消除等肚咀克服的问题。而粟川离于求 溅射沉积及离子求{：注到蚀技术制作，制忭的溅射式薄膜佳力传感器且订{专感器无蠕变、漂穆苫优点， 『目此，本文采川离子求溅射沉移啦术将薄聪电阻商接制作枉弹性元件上的一种压力传J出器。 2蕞射薄膜压力传感器的工作原理豆结构设计 2．I弹性敏瞎元件的结构殛工作机理 弹性敏感兀“的具体结构如瑚l所示。它包括平膜片．溅射薄膜lUm层。 弹性敏培元件设计为周边【H立的平儿葵Jl，它的作川是将被删雎力转换成弹性变形．然后通过#二女·U 路转换成相应的lU信q输Ⅲ，从而完成压JJ的测jI}。 嚣习溅 1．f-翁 图1溅射薄膜压力传瞎器的弹性敏瘟元件 平膜片经研磨、抛光等表面处理后．a：豇窀室内利川离子求溅目t技术在膛片L溅射北^层功能胜 这五层膜所镀的且体材丰}及作州如F 1)Ta205膜：亢接溅射柜膜”表面．使弹性膜片材料。ISi02绝缘材料通过Ta205腔根盯地粘甜 『日时Ta205膜也足一层性能优越的绝缘雌。 2)Si02膜转换电踏!，弹性元件}I底之间起绝缘作Hj。 31NiCr膜应变电阻膜．经光刻】艺将电阻雌均匀的到 蚀成凹个栅条IU卅，按世¨噩求分m，在弹性元仆表面，受压时， 薄膜电m随掸性儿们产生形娈．IU阻的lIjtffi相应政变，通i=上电 路将阻值的变化转换成电Ii：信号输115。 41Si02膜：土要是阻断NiCr电阻膜与人气的接触。 5)Au膜与NiCr【b阻膜相通．起导也tU极作川。 本文中所购的溅射博税压力传感器的弹性敏感元什实物 如蚓2所示。 圈2藏射薄膜芯片实物围 23激射薄膜压力传艟器的结构设计 弹性兀川罘川周j』f㈣吏的圆彤1F帷”。m削3所币。n：设“¨竹m由r’r膜片的城人挠膻不，、丁1n s2 四川省电子学会传感技术专委会第11届学术年会会议±仑文 膜厚，因而采用小挠度理论；另外压力是均匀作用于平膜片表面的。在以上条件下，平膜片的径向应变 分布如图4所示。 lL￡f ／’ ‘、＼ 汐 ／? R {． 图3周边固支圆形平膜片 图4平膜片径向分布图 径向厦燹为： ￡，=——=——÷—otK。一l 、l(1)J ￡，=兰骅(尺2—3r2 。) hE8r32 切向应变为： ￡，=——=—一二●‘{ l