超精密光學聚焦探頭的研製.pdfVIP

第二届海峡雨岸制造技币Ii研封曹耸文集 2001年9月大莲理工大毕 超精密光罩聚焦探臻的研裂 范光照章 朱志良料 林威自料 (台湾大孥横械系，牛教授料研究生) 摘要：本研究霰展出一套低成本、高精度的雷射自勤聚焦探顼系统．针封目前市售的光 or 碟橙(CD-R伽OlrDVD-R伽)或光碟音譬(cD-PLAYER head)的聚焦行羯造行研究．省待测物反射面不在镀取颈物镜的聚焦面畴，缝由感测器可 得一失焦飙虢．将感测器侦测到的失焦飙虢缝通放大及稽傥魔理後，迄入推挽功率放大器 遛授疆勤音圈属逵，帮勤物镜重回聚焦平面而完成自勤聚焦．由於音圈属逵的鹱勤鼋流(事 ★上就是由伺服失焦飘虢转换而柬)舆物镜的位移量，在敷百微米的髭国内呈现一封一的 综性网傈，韭具有高度重梭性，因此在物镜锁住工件表面的自勤聚焦情j15己下，艇由音圈属 逵疆勐鼋流的强度，即可魂取工件表面量测黠的位置，迢而嘹解工件表面的翰廓分怖甚至 是粗糙度。此探殒系统具有200p皿的量浸4花圈，荦碓度逵0．2Wn。 期键字：雷射硬取颐、自勤聚焦、音圈局逵、失焦飙虢 ．1前言 科技造步一日千里，裂造技衍不断推隙出新，使得虚品的精密度不断提高，因此在座品 的榆测上，需要相封虑的精密量测技衍柬配合。以雅向及横向解析度的觏黠柬看，微米级 的探颈逐渐不敷使用，而一般具有更高精度的量测探顼，成本亦高。在比较接桶式舆非接 桶式探殒的便缺黠之後“一，得知光翠非接桶式探蕻遍合量测款薄及微型工件，封於待测工 件脆弱的表面亦不舍造成磨耗掼害，且因南燕接崩力的同题，免除了因墅迫工件表面尊致 的量测误差，加上量测畴不需探颐半徭辅正，使得非接桶式探啜的地位日益重要，在现今 的虑用篦囤也非常魔泛．因此本文欲裴展一套新的光翠非接桶式量测探顽，期望除了封量 测精度的提舁有正面的助益之外，亦降低高精度量测的成本． 自1982年第一部CD上市以乘，以雷射光魂取瓷料的技锵便在不断地更新。如今光碟橇 (CD-ROM)或光碟音謇(CD-PLAYER)内之光晕颟取殒(Pickuphead)的袋展已铿非常成熟， 而其现成的光路毅针舆聚焦特性，更是遍合虑用在光翠量测方面，加上成本低廉，因此近年 来利用雷射蔼取颈聚焦技衔做量测感用的研究不断． J．Benschop舆G…V 光缝凿作新的光源，骚展成菊一套光翠捅瞄颞微镜。利用魂取磺上的四象限感测器，配合自 勋聚焦功能，感测物髓表面的振幅；同畴在遥端雷射光源忘，增加一共焦感测器，感虑物髓 表面反射光的相位爱化，完成物髓表面状沉的揖瞄． and T．R．Armstrong 136 再利用四象限感测器雨雨相封的感光二桎髓鼋壁差，能麴同畴量测到互相垂直雨方向的角度 爱化，其花圈有1200肛rad，解析度可逵±O．006pxad． 遇光栅後，分成三道榆测光束打在碟片表面．利用已知雨道光束之同的距雒，配合计算任雨 道反射光束之同的延暹畴同，可以求出待测物醴的：iI毪行速率． J．H．Zhang舆L．LCai嘲将魏取颈的音圈属逵固定住，以PzT平台搭戴疆取顽，代 替音圈属逵成稳自勤聚焦的致勤器，霰展一套表面粗糙度的量测系统。由於PZT的定位精犟， 系统是以PZT平台施致勤器，蓝非猾立的探顽，因此在虑用上颇泰受限，而其量测花圈亦只 有30微米左右． K．C．Fanm等晕者，特魂取鳆的音圈属逵锁死，再把反射面切入S曲缘，利用S曲腺绿 性匿中，失焦量舆失焦氰虢一封一的网傈，可精碓地量测出物髓表面的高度燮化．其量测精 度可逵34nm，花圈菊10微米． 综凝塍年的相阴研究，得知利用光晕镀取颈骚展出的非接桶式量测法，能麴在不接褥损 害工件情况下，以光翠猖有的特性，逵到高精度的表面榆测。又由於市售商用光礤横之雷射 穰取颈，不但内含雷射二棰谴光源，且光路中的光栅、分光镜、四分之一波片，舆内建的光 检测IC、聚焦物镜、音圈属逵驱勤器等，都以成熟的技街将其整髓化、微小化，非常遍合虑 用在我们的研究方向上，因此本研究以建立一套完整的光旱非接桶式量测系统萄目的，利用 市售的光碟魂取硬加以改良，骚展出一倜超精密雷射自勤聚焦探殒，可以虑用於物醴的翰廓 或是表面粗糙度的量测．