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电解转印加工平面摩擦副表面
微小凹坑阵列的研究
曲宁松 钱双庆 朱荻
南京航空航天大学/江苏省精密与微细制造技术重点实验室，江苏南京210016
摘要：提出电解转印法加工微小凹坑阵列，建立电解转印微小凹坑阵列的数学模型，分析了阳极表面的电场分布
情况，建立电解转印微小凹坑阵列的试验系统，并进行试验，加工出尺寸一致的阵列微坑。
关键词：电解转印;电场；微坑阵列
之间产生电场
花动的电解液-
可以一次制作
，从而提高加
极材料为不锈
蜀型光致抗蚀井
付性，对宽谱鸶
誊板的光刻T岁
不同的合金元素l
l流密度较小，阳j
甚至不溶解，因J
：迅速降低。因此，
InvestigationontheSurfaceofPlanarFrictionPairwithMicro-dimples
ArrayGeneratedbyElectrochemicalPatternTransfer
QuNingsongQianShuangqingZhuDi
Abstract:Inthispaper,electrochemicalpatte(m)transferwasproposedtogeneratemicro-dimplesarrayonplanarsurface.
Mathematicalmodelwasfoundandtheelectricalfieldontheanodesurfacewasanalyzed.Theequipmentof
electrochemicalpatterntransferwasestablishedandtheexperimentwascarriedout.Usingoptimizedmachining
parameters,micro-dimplesarraywereproducedonthesurfaceoftheplanarfrictionpair.
Keywords:electrochemicalpatterntransfer;electricalfield;micro-dimplesarray
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