微波调谐铈钇共掺Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜的改性机制研究.pdfVIP

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2017-08-20 发布于湖北
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微波调谐铈钇共掺Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜的改性机制研究.pdf

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微波调谐铈钇共掺Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜的改性机制研究.pdf

第 5期纳米科技 V01．11No．5 2014年 l0月 Nanoscienee＆ Nanotechnology 0ctober20l4 ImprovedM echanismsforExcellentTunableM icrowave CeandM nCodopedBa0~SroaTiO3ThinFilms LIAOJia—xuan，WANGSi-zhe，WEIXu-bo，XU Zi-qiang，WANGPeng (ResearchInstituteofElectronicScienceandTechnology，Universityof ElectronicScienceandTechnology，Chengdu611731，China) Abstract：Smoothanddensepreheatedcerium (Ce)andmanganese (in)codopedbariumstrontium titanate (CeMn—BST) filmswithvariousthicknesseswerepreparedbyimprovedsol—gelmethod． Capacitance-voltagecurvesshow thatwithincreasingfilm thickness，combinationofdielectricproperties aresignificantlyimprovedwithoptimizedvaluesofabout1300moderatepermittivity，lessthan0．007 dielectricloss，morethan58％tunabilityandhencenear180figureofmerit (F0 foreight—layer CeMn-BSTfilm．Theimprovedmechanismsforsuch excellentdielectricpropertieswereinvestigated． XRD showsthatthefilmslayered-growmainlyalong (110) orientationandexhibitAB03cubic perovskitestructure．Asfilm thicknessincreases．Ce。and／orMn。ionsshoweddopingmodesfrom donor dopingtoacceptordoping，thecrystallizationoffilmsisimproved，buttheaveragegrainsizesofthefilms showgraduallydecreasedtrendfromabout45nmto25nmintermsoftheintensitiesof(11)0 diffraction peaks．AFM indicatesthatthefilmsbecomesmootherwithsmallerroughhesswithincreasingthickness． XPSrevealsthatthefilmsrevealdecreasednon-perovskitesturcture，elementcorelevelsandFermilevels withincreasingthickness．Leakagecurrentdensitiesaresignificantlydecreasedalmostattwoordersof magnitudewithincreasingthickness．PureBSTfilmsarecompared． Keywords：BSTthinfilm；CeandMncodoping；tunabledielectricproperties；improvedmechanism； sol-gel 微波调谐铈钇共掺Ba6Srm4TiO3薄膜的改性机制研究廖家轩，王思哲，尉旭波，徐自强，汪澎