掺氮类金刚石薄膜的制备与性能研究.pdfVIP

第 29 卷 增刊 真 空 科 学 与 技 术 学 报 2X( 刃年 5 月 C印N 路E JOUNR AL ro VACU[ MJ 3 皿ENCE AND TECHNO 以兀万 掺 氮 类 金 刚 石 薄 膜 的 制 备 与 性 能 研 究 霍纯青 边心超 陈 强 (北京印刷学院印刷包装材料与技术北京市重点实验室 北京 lm 仅X) G 功wt h 叨 d o Ni t ro g e n . 伪 户池 珑 别田旧时 L 认谬 O 川比n F 恤ns Huo hC Un niq g , Bi na 刀nchoa , hCe n iQ nga ( 励 o 月山ma 外 浏 nda M幽 硫, 及如唱nIs u 比o 份即从 nda 肠枷川月泊时如n , 及访昭, 102仪X) , 品毖朋 A饭由知tC hTe ni tro 罗n刁OPde id nloa nd一kile c云比n ( D扰 ) 川ms ~ g 旧抓 场 hllo wo . caht do e id cs h毗e no gl as s s川比廿吐韶. 肠e 峋卿 ts o hte i b 阴胭姗山eonid ti nos no hte 卿la yti o D砚 五b 朋we re studide . 仆e 而cn犯tur cni 众污阴d ~ 抽面Cla p 甲pe rt les o hte D 比 6知叱we re e恤rca teri 双妇wi ht cs anning elce 腼 而c~ yPo ( Es M) , atonuc roe e 而- c~ yPo ( AFM) , 凡班曰l sxl 沈rt 以犯yPo nda conv ention 日~ hJa 吐Cd p ro b 招. hTe o ul ts show htta N刁oping is , 正cna dy .a价ets tis s园EaC e 伽pr hlo 呵 阴d mce h 田五以 p功详rt ies . rFo ri 巧tenLce, N一ndo ing impro ves hte sllra ee l la 比less na d cmo - Pca nies s沂妇uees tis 伍tic no eoe 伍eintes , 朋d dras tic rlla nic ~ tis hda es ino ta hte nti e迁ca e o D珑 石皿 nda bus - sti a tes B路s诚 ~ h 画 sms ~ 习阳 te nta t ively id ~ des . 为护阳油 Glwo id CS ll毋罗, Holl 衅.ela 五de e ,NitIO 罗n doPde D忧 6玩篮 摘要 利用空心阴极放电在玻璃基底表面沉积掺氮类金刚石(D珑) 薄膜 拉曼光谱( Rna 迎1) 分析表明, 所制备 的碳膜具 有典型的类金刚石结构 扫描电镜( 亚M) 和原子力显微镜(赶M) 分析 了薄膜表面形貌和粗糙度;利用摩擦磨损仪测量膜 的摩 擦磨损性能 结果表明,氮的掺人使得薄膜中颗粒致密平整 ,改变了薄膜的表面微观形貌,进而改善了薄膜 的摩擦磨损性能 关键词 辉光放 电 空心阴极 掺氮类金刚石薄膜 中圈分类号二竹抖3 文献标识码 :A 翻 :01 . 叨翻乃滋团. 1曰2.1 7场 .2仪珍.增 侈 类金 刚石 ( 山~ nd.从e c云阮n , 简称 D比) 膜是 镜(SEM) 和原子力显微镜 ( AIM) 分 析 了表面形貌 ; 一种非 晶碳膜 , 具有类似于金 刚石 的特征 由于该 使用摩擦磨损仪测定膜 的摩擦系数 , 并 用显微镜观