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第 26卷第 1O期 强 激 光 与 粒 子 束 Vo1．26，No．10 2014年 10月 HIGH POW ER LASER AND PARTICLE BEAM S Oct．，2014 用于第一镜表面的金属玻璃薄膜研究 公发全 ，文 静 ，谭彦楠。，牟宗信 ，周徐洋 ，刘万发 ，董 闯 (1．大连理工大学 材料科学与工程学院，辽宁 大连 116023； 2．中国科学院 大连化学物理研究所 ，中国科学院 化学激光重点实验室 ，辽宁 大连 116023) 摘 要： 为解决大 口径非晶金属第一镜实现难题 ，在研究块体金属玻璃 Cos．B ．。Si．eTa。材料基础上， 采用金属玻璃块体材料制作拼接成溅射靶材 ，通过非平衡磁控溅射镀膜方法 ，实现了Co zBzszSi．sTas非晶 金属薄膜第一镜 。研究结果表明：通过成分设计及合成靶材 的设计 ，能够实现与块体金属玻璃具有相同光学特 性的非晶薄膜第一镜；通过 Cr成分改进 ，能够进一步提高非晶金属薄膜第一镜在可见光波段的光谱反射率。 关键词 ： 第一镜 ； 金属玻璃 ； 薄膜表面 ； 光谱反射率 中图分类号 ： 0756 文献标志码 ： A doi：10．11884／HPLPB201426．104002 第一镜是国际热核聚变实验堆计划 (ITER)光学诊断系统 的重要组成部分 ，由于其直接面对等离子体 ，受 到高能粒子的辐照和沉积污染，工作寿命一般仅有几十秒 ，距离半年的理想寿命有较大差距。国际托卡马克物 理学会 (ITPA)已将其列为等离子体物理诊断方面的五个最先研究课题之一。人们认为 ，高熔点高硬度 的金 属材料在聚变装置中可能获得较长的使用寿命 ，例如单晶耐溅射金属钼和钨等 ]，但大尺寸金属单 晶的镜面 的加工和抛光 比较困难、费用昂贵 。国内中国科学院等离子体物理研究所_3]、中国工程物理研究 院和核工业西 南物理研究院l4均进行了相关的研究 ，研究了多 晶钨 (包括平均粒径在 1z／m 以下 的细晶粒钨材料)、多晶钼、 不锈钢与铜等金属材料制备的第一镜经准稳态等离子体轰击后，因溅射腐蚀和杂质再沉积所引起的表面形貌 改变、辐照损伤所导致的反射率变化等问题。实验结果表明：这些金属第一镜 的使用寿命距离热核聚变实验堆 的要求还有较大距离 ，等离子体仍会对其镜表面产生溅射腐蚀[5]。近年来 ，人们采用在高导热基体上镀金属膜 方法 ，相对于单晶第一镜 的制备 ，能够克服难 以加工和抛光等技术 问题，但是制备一定厚度的金属薄膜会存在 附着力问题 。]。因此人们一直在寻找制备简单 、抛光加工容易、具有高反射率和低溅射产额 ，且使用寿命较长 实用金属材料作为第一镜备选方案 。 非 晶态合金 ，又称金属玻璃 ，具有短程有序 、长程无序的特点。与晶态材料相比，其原子排列不具有周期平 移对称性 ，各向同性 ，且具有高强度 、高硬度 的特点。本研究组采用非晶金属玻璃作为第一镜的材料 ，进行高能 H和 He离子的轰击实验 ，发现其与金属 w 相比较具有较高的反射率 、较好光谱反射率稳定性 、溅射后反射率 下降幅度较小[8]。其中以Co基非晶CoⅢB。。Si．Ta 最具代表性，但 目前为止制造大孔径非晶块体实现 难度很大 ，限制了非晶金属玻璃第一镜的口径[1。为 了进一步扩大非 晶金属玻璃第一镜 的孔径 ，采用非晶金 属玻璃拼接靶设计及加工 ，通过非平衡磁控溅射镀膜技术 ，研制 了非晶金属薄膜第一镜样件 ，并对其物理特性 进行了表征和分析 。 1 实验设计 采用 团簇加连接原子的团簇结构模型，利用 团簇线判据 、等 电子浓度判据和等原子尺寸准则设计 出 了一些具有较大玻璃形成能力的块体金属玻璃的成分式，并采用普通的铜模浇铸技术制备出结构致密且 具有高弹性变形能力 Co基 Co-B-Si—Ta块体金属玻璃体 系，其成分为 Co B Si．Ta．。采用 的金属原料 质量分数为Co99．99 ，B99．5 ，Si99．9 ，Ta99．9996／；原料按非晶合金成分 Co。ll2B26．Si．。Ta．8配 比完成 后，开始熔炼吸铸 ，制作直径 3mm 的块体非晶金属玻璃[1。。。从所制备的金属玻璃中，取出一块进行光学加 工，制成平面反射镜。而其余部分用于制作靶材 。 然后将多个非