微晶玻璃的ELID超精磨削技术与表面变质层的研究.pdfVIP

122 中国玻璃增刊 微晶玻璃的ELID超精磨削技术及 表面变质层的研究 王东生顾金泉刘世民 燕山大学亚稳态材料制备技术与科学国家重点实验室秦皇岛066004 摘要：微晶玻璃具有优良的物理、机械性能。在装饰材料、耐磨工业环境等多个领域得到了越来 越广泛的应用，但由于其具有高强度、高硬脆性，采用传统磨削加工工艺不仅磨削应力大、磨削温度 高、磨削效率低，而且砂轮极易钝化、堵塞丧失切削性能，从而造成产品加工的脆性破坏，加工表面 质量恶化，难以满足产品的高品质、高效率的加工要求。采用ELID磨削技术能够在线电解修整金属 基超细粒度的金刚石砂轮，使其磨粒在磨削过程中始终保持锋利状态。防止了砂轮钝化和堵塞，可 以有效地实现硬脆性材料的高效、超精密加工。本文将在线电解修整砂轮的超精密镜面磨削技术 (Electrolytic In—processDressing。ELID)应用于电磁炉具微晶玻璃产品的精密加工，配制了其专用 的磨削液；通过不同砂轮转速、不同进给量等条件下磨削后微晶玻璃表面粗糙度的比较，获得了不 nln(其 同砂轮粒度下的最佳的磨削参数组合。经三次ELID磨削，微晶玻璃表面粗糙度即可达到25 中．Ra=187．4nlri／ZM—l，Ra=89．3nm／W10，Ra=25．0nln／W5)；通过原子力显微镜观察了 磨削及常温条件下抛光后的微晶玻璃的表面形貌；运用x射线衍射方法证明了抛光后表面变质层 的存在，且其厚度值为0．128斗m。同时，还研究了影响磨削微晶玻璃的表面质量的因素；探讨了 ELID磨削加工后的样品抛光质量提高的原因。 关键词：ELID微晶玻璃磨削液变质层掠入射衍射 电、生、化、磁等微电子技术、生物医学、国防尖端技 1前言 术、机械制造等领域得到了广泛的应用。 微晶玻璃是20世纪70年代发展起来的一种新 但是由于微晶玻璃是由玻璃的控制晶化制得的 型功能材料，它是将加有成核剂(个别可以不加)的 多晶固体，属于硬脆性材料，有很高的抗剪切应力、 特定组成的基础玻璃在一定温度下进行热处理，而 很低的抗拉伸应力和大的弹性模量，在磨粒的作用 变成的具有微晶体和玻璃相均匀分布的材料，它同 下会发生脂}生断裂；且其原子键是共价键和离子键 时兼有玻璃和陶瓷的优点，具有常规材料难以达到 的混合，为不良导体，这就限制了它们的加工方法。 的物理性能，如膨胀系数变化大，机械强度高?化学 不能用电解加工或放电加工。而采用传统磨削加工 稳定性好，使用温度高，坚硬耐磨等等。作为建筑装 工艺不仅磨削应力大、磨削温度高、磨削效率低，而 饰材料，其物美价廉，对区域可续发展、生态环境保 且砂轮极易钝化、堵塞丧失切削性能，从而造成产品 护做出积极贡献；作为功能材料和结构材料，在光、 加工的脆性破坏，加工表面质量恶化，难以满足产品 2007年中国浮法玻璃及玻璃新技术发展研讨会论文集 123 的高品质、高效率的加工要求。 削过程中的锐利性。因此可以实现高精度、高效率 国内外研究人员通过大量理论分析和实验证明 的磨削。 Dress- 采用在线电解修整(ElectrolyticIn—process 3试验设备与样品制备 ing简称ELlD)磨削技术能够在线电解修整金属基 超细粒度的金刚石砂轮，使磨粒在磨削过程中始终