SPAM低频激励下试样位移场的ANSYS模拟.pdfVIP

第27卷第5期 声学技术 、，01．27，No．5Pt．2 2008年10月 1echnicalAcoustics 0ct．．2008 SPAM低频激励下试样位移场的ANSYS模拟 赵亚军，程茜，钱梦碌+ (同济大学声学研究所，上海200092) ANSYSsimulationof 6eldof excited displacementsample by ultrasonicsinSPAJM low-frequency zHAO Ya-jun，cHENGQian，QL～NMeng—lu奉 tAcDlIsitcsInstiltlte．To嘲iUn如ers讧y．shangkt200092．Ch讯口、 1引言 自20世纪90年代初以来，以扫描探针显微 镜(SPM)特别是原子力显微镜(AFM)为代表 的纳米结构的检测与表征技术的出现，标志着人 类在对微观尺度的探索进入到一个全新的领域。 近年来国内外又开展了新的扫描探针声显微镜 (SPAM)的研究，以期实现纳米尺度上表面、 亚表面及力学性质的成像。其中一类SP枷系统 是让试样底面受激发振动，用探针在试样表面进 行检测Il，z】。国内殷庆瑞等人利用这种SPAM系统 图l试样图 所得到SPAM像的空间分辨率达到了10nm【3J。 Fig．1黝∞pleimago 目前利用SPAM系统已取得了一些实验结果， 对于该试样，因其z方向无限大，所以可以 因此需要更深入地了解SPAM的成像机理，这将有 把其近似看成一块船，平面的薄板进行计算。建 助于我们正确的操作仪器以取得更好的实验结 模时选用2维6节点三角形实体结构单元 果。为了寻找SPAM成像机理理论研究的有效途 径，我们首先采用有限元法进行模拟探索。本文 三角形单元，可以较好地适应不规则的模型网格。 主要针对上述SPAM系统中，试样在低频超声激励 该单元由6个节点组成，每个节点有两个自由度， 下表面位移场的ANSYS模拟，分析试样表面位移 分别沿石和y方向。该单元可以用作平面单元(平 场与激励频率、缺陷深度之间的关系。 面应力和平面应变)，也可以用作轴对称单元。因 该试样关于y轴对称，故建模时可以利用对称建 2有限元模型的建立 模以减少建模和计算工作量。考虑到计算结果的 本文所采用的SP!枷试样是一块厚度为 对称性，故也只对试样表面位移场待测区域的一 Jl=口+6的铝板，靠近上表面处有一半径为ro的圆半区域进行了计算分析，如图1所示。 柱形缺陷。该圆柱轴线距试样上表面距离为口， 网格划分时，为了增加试样上表面待检测区 距下表面距离为6。试样在z方向的尺寸远大于 域的计算精度，对缺陷至上表面待测区域做了网 缺陷半径，0，可近似认为无限大，圆柱在z方向 格细划分处理。因为压电片尺寸大于试样的底面 也为无限大。试样底面有一压电片以郴1州振动。 积，属于面激励，点接收的模型，故在载荷加载 试样图形如图1所示。 时，试样的整个底面加以超声激励，所加载荷类