Co%2fW双层膜的结构与磁各向异性研究.pdfVIP

第29卷增刊 高能物理与核物理 Vol 29，Supp 2005年12月 HIGHENERGYPHYSICSANDNUCLEARpHYSlCS Dec．．2005 Co／W双层膜的结构和磁各向异性研究+ 吴小山1m张爱梅1游彪1胡安1吴忠华2 1(南京大学固体微结构物理嗣家重点实验室南京大学物理系 南京210093) 2(中国科学院商能物理研究所同步辐射实验室北京100049) 摘要用直流磁控溅射的方法制备了3个系列含有不同厚度的Co／W的双层膜．用铁磁共振和振动样 品磁强计测量了Co／W双层膜的磁学性质．用镜面x射线反射和高角x射线衍射表征了样品的结构． Co层的饱和磁化强度随厚度的增加而增大但比六角结构块材Co的饱和磁化强度小．大的界面粗糙度 和核磁共振宽度表明Co／W薄膜中不均匀的Co／W层． 关键词Co／W双层膜磁各向异性x射线反射 1引言 2实验 合理结构的磁性薄膜或多层膜能使传统的磁性材 实验所用的Co／W双层膜样品是在室温下在玻璃 料适用于高密度的磁记录u’“．垂直磁记录材料必须 衬底上采用直流和射频磁控溅射制备的【l¨8I．实验 具有大的垂直磁各向异性．Co合金的薄膜或磁性多层 的背底真空度为5×10一Pa，溅射气压为1．0Pa．Co层 膜就具有很大的垂直磁各向异性．薄膜和磁性多层膜 的磁性质强烈依赖于它们的结构和组成，这已成为近 几十年来研究的热点9J．磁各向异性直接受到结构和 2．8A／8．实验共制各了3个系列的样品：第1个系列样 形貌的影响14一I，以及磁弹性耦合所导致的应力的影 品(Co-I)Co和w的溅射时间相同，它们的厚度关系 响I”q．多层膜的磁性质强烈依赖于结构和组成，而 结构和组成又受生氏条件的影响．例如，相邻层问的 扩散程度决定了薄膜中Co对磁性质的贡献大小以及 各层的晶体织构．结合表面磁各向异性就可以决定整 的厚度在40h到200A之间变化．所有样品都用W作 个多层膜的磁各向异性．为了能够制备出具有应用价 为覆盖层．x射线衍射是在北京同步辐射衍射／散射 值的磁性质的薄膜，必须确定薄膜结构和磁性质之『口】 实验站上完成的，用小角x射线镜面反射来测量各层 的关系． 的实际厚度．用高角x射线衍射来探测样品结构．磁 磁性／非磁性双层膜不仅能够改变系统的磁性质， 测量是在室温下用振动样品磁强计完成的．铁磁共振 还可阻组成各种多层膜和超晶格．很多磁性／过渡金 是选择工作频率为9780Hz的电子顺磁共振波谱仪上 属薄膜问的反铁磁耦合显示出随中间层厚度振荡的特 完成的． 点【1q．在Co／W磁性多层膜中，尽管反铁磁耦台的振 荡周期为10h，只能观察到第1个反铁磁耦合峰““．对 3结果和讨论 co层很薄的Co／W系统的磁性强烈依赖于样品的结 构(比如层厚，应力，衬底取向和表面粗糙度等)o””】． 在本文中，我们用x射线来测量Co／W双层膜的结构， 用铁磁共振的方法来测量它的磁各向异性． +国家自然科学基金104了4031)和教育部博士点基金(20020284029)资助 ell 1)E-mail：xewu@nju．edu 28—3l 增刊 吴小山等：Co，W双层膜的结构和磁各向异性研究 算法进行迭代可以对样品的厚度t。，界面和表面平均 层的拟合厚度相对实验{殳计厚度的偏离很明显．考虑 租糙度p=)以及各层材料的密度p进行拟合【l…．结构到界面的化学粗糙度，co层的有效厚度比设计厚度 模型可以从实验室9”或者同步辐射x射线反射的数 要小．界面Co-W的固熔物可能是非磁的