一种集成芯片引脚外观检测系统地研究.pdfVIP

第 卷第 期增刊 仪 器 仪 表 学 报 年 月 ,# 3 ,$$, $ 一种集成芯片引脚外观检测系统的研究! 杨 勇 乔 辉 方志良 母国光 南开大学现代光学研究所 天津 #$$$%’ 摘要 大尺寸集成芯片引脚外观检测一直是电子集成电路器件生产线上的一个重要环节 目前尚无较成熟的自动检测设备 ( ( 在此介绍一种针对 脚以上集成芯片引脚外观的光电自动检测系统 其可以实现引脚的内外倾角 左右倾角和横向尺寸的 )$ ( * 检测 采用亚像素细分的方法 使长度测量分辨率达到四十分之一像素 ( ( + 关键词 集成芯片引脚 光电检测 ,,- 亚像素 ./.012341567895682:1;8==;5?84@0A838/1 BCDEBFDE GHCFIJH KCDELIHMHCDE NJOJFEJCDE ( ( ghhhij( ’ PQRSTSUSVWXYWZV[Q\]ST^R_‘Qa‘TbQTcV[RTSd eT‘QfTQ klTQ‘ x .m@1A461 n, oIHpqrCsJtrqrDuHsCHqpFtuCDupICsrHDrMroutFDHoHDvJsutw yIrtrHsDFuCCzCHMC{MrvrzHoruICu x ( ( ICs{rrDJsrv|HvrMw nDuIHspCprtCCJuFqCuHopIFuFrMroutHoqrCsJtHDEvrzHorHsptrsrDurv |IHoIHssJHuC{Mr}Ft )$ x n, oIHpqrCsJtrqrDuC{Fzr MrEsyIrvrzHoroCDqrCsJtruIroIHpMrE~s|HvuICDvuHMuCDEMr{FuIzrtuHoCMMwCDv x ( x IFtH!FDuCMMroCJsrF}sJ{pH#rMCMEFtHuIqsuIrvHqrDsHFDtrsFMJuHFDoCDtrCoIFDr}FtuHruIpH#rM $8%2A’@ n,oIHp (IFuFrMroutHoqrCsJtHDEvrzHor ,,- sJ{pH#rM 于千分之一+ ) 引 言 / 测量系统 在电子集成电路器件生产的流水线上 产品外观 ( 检测是一项重要的工序 外观检测包括诸如尺寸 芯片 测量系统将实现对集成芯片引脚外观的内外倾角 + * *