CMOS图像传感器γ射线辐照损伤的研究.pdfVIP

CMOS图像传感器Y射线辐照损伤研究 孟祥提康爱国 清华大学桩研腕100084 I(Iad(si)剂量辐照后．许多小白点和水平条纹出现， 辐j!ll后．捕获的图像开始变得模糊，表明器件性能明显退化：在180 图像更加模糊．对比度更差；在200Krad(si)剂量辐照后．许多水平条纹出现，图像变得非常模糊，表明器件不再正常工 作。本文对实验现象进行了初步解释． 关键词：cM0s数字图像传感器，伽马射线．辐照，缺陷 一、引言 互补金属氧化物半导体(叫0S)图像传感器是将光敏二极管阵列和图像处理控制部分如微处理器和存 储器等都集成在同一例0S硅衬底上。当光学图像聚焦在图像传感器芯片上时，通过芯片上的光敏元对光 CD)相比，CMOS摄像 像进行光电转换，输出光生电子流，经数字化处理后被读出。与电荷耦合器件(c 器件集成度高，简化了^／D转换器。数字信号输出方便，光电转换效率高、暗电流小，图像质量好