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激光外差干涉系统测量不确定度分析
陈洪芳1钟志2
1北京工业大学机械工程与应用电子技术学院 2哈尔滨工程大学信息与通信工程学院
外差干涉仪是使用两种不同频率的单色光作为测量光束和参考光束，通过光电探测器的混
频，输出差频信号，被测物体的变化如位移、振动、转动、大气扰动等引起的光波相位变化或
多普勒频移载于此差频上，经解调即可获得被测数据的仪器。外差干涉仪具有测量速度快、测
量精度高、抗干扰能力强、重复性好、溯源性强等优点，广泛应用于测速、测长、测角、测振、
测表面光洁度、测激光束通过湍流时光束的扰动、提高望远镜的视轴瞄准精度以及作自适应光
学中的鉴相器等领域，获得了比零差干涉仪更高的精度。激光干涉仪的系统精度直接影响测量
结果的精确性。本文分析了各种误差因素对激光外差干涉系统测量不确定度的影响，给出了系
统的测量不确定度。
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激光外差干涉系统测量不确定度分析
作者： 陈洪芳， 钟志
作者单位： 陈洪芳(北京工业大学机械工程与应用电子技术学院)， 钟志(哈尔滨工程大学信息与通信工程学院)
引用本文格式：陈洪芳.钟志 激光外差干涉系统测量不确定度分析[会议论文] 2009
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