用椭圆偏振法研究Cr-%2c2-N薄膜氧化层厚度.pdfVIP

．224- 工科曲理增翻 姗年 用椭圆偏振法研究c，2Ⅳ薄膜氧化层的厚度 陈庆东汤正新 成蜩 (洛阳工学院471039，桂林电子工业学院s41004) 囊耍采用空止溯极放电茸孚镀(HcD)技术，在硅基片上沉积cr，H薄膜．用栅侮陡研究了 。c÷一礴曩|j盎走气环境里巯o，c的爱度下，氧化屡犀崖髓时间的变化关系． ‘ 关键词cr：H薄膜抗氧化性椭信丰、 十几年来，耐磨损抗腐蚀层在工业生产中的应用不断增加。已成功应用于机攘加工刀 具超高真空部件航天装饰等领域．、量着追的是妇f和麓僻，q蕞屠．他量了具有趣强的硬度 及可靠的热稳定性能啪。近年来发现olN镀层也具有高的硬度和好的耐腐蚀抗氧化等特 抗氧化性能明显优于1iN薄膜。本文莉用椭偏方法对由空心阴极赢子镶制备的Q斟薄膜在 大气中的氧化性能傲些研究。 1样品爿鲁 Ca山odc 采取H¨00型空心阴极离子镀棚buaw Discllar弘)制各cr州薄膜，镀膜参数如 射时间：5min．眦D枪功率：50y×160A，基板负偏压：一40矿．氩气分压：0．38只口．氯气分 压：o．嘶6P矗，沉积时间：20min．将该样品在大气环境里退火．退火温度600佗度． 2童化赢覃度舅定 麓圈偏撮测量时，利用偏振态的P光和s光界 面蛾■黛土反射城迸射时出现醣傅撅卷的改芟来计 算特嗣的基本光学参数．取如图l所示模型．Q料 尊糜作藩镶妇燃底．实验采用协77囊柑_嘲 ￡生Q3 型l三ncik 厚仪·入射光的波长为632．8，Im，采用多角度入射 ． 。 Cr2N N产n2-ik2 潮量． 瑶骖“=q，曩 光经过肆膜上、下界面产生的复相位差为： ’ 4 占：挈d：t．螂n ^ I j N 一—哥nFi。_甄～鼙l■阡 ‰，～分捌为伯振光P，s在，哺l上的复荸攫求爱射系数，～，吒，分别为僖摄光 P，S在界面2上的复菲涅尔反射系数，占为光经过Ck籼上、下表面产生的复相位差． 方程(1)可得实部和虚部两个方程·对求解^，七I．d未知量来说不蘸求解-为了褥翻更 多的约柬方程，采用多角度入射可得到一系列约束方程： ： ％=y魄．七I，正吼) A。=d伽1，屯，以啊) l=1’2……口 引入误差函数： ，‘击{毅A一一Ac)2+孵一w)2} 式中A_。pr，为应用擂偏仪澍得的敦自b 驾，孵为特■蒯I备泄．讨算^，七l。d鬻嘲啪瓤／ I i j一，1．——-L—』_