蓝宝石ELID超精磨削表面质量与变质层的研究.pdfVIP

2005年国际材料科学与工程学术研讨会论文簋 一 !竺堕望塑竺皇竺!!坠竺墼!尘竺!!坚坐堕!堡!!!!苎!!型墅E!罂!堂￡ 一 ISMSE2005．086 蓝宝石ELID超精磨削表面质量及变质层的研究 吴涛1，刘世民’，高祀建2，孙明武2，许哲峰1，顾金泉1 秦国强1，冯志军1，李东春1 (1河北省亚稳材料制各技术与科学重点实验室，燕山大学，寨皇岛066004 2中国建筑材料科学研究院北京100024) 随着现代机械电子工业的高速发展，象单晶硅、光学玻璃、蓝宝石、精细陶瓷这类硬脆材料的使用越 来越广。为使这类硬脆材料零件具有良好的性能，必须要求有极小的表面粗糙度和表面及亚表面损伤。资 dressingELID)磨削的方法 料表明。利用金属结合剂超硬磨料砂轮，采用在线电解(electrolyticin-process 可以加工得到理想的高精度表面。由于硬脆材料有极高的硬度和脆性，其磨削过程中的去除机理为磨粒刃 作用下发生微脆性断裂。因此．要想加工出像金属那样的高质量表面，唯一的办法就是实现脆——塑性转 变。而发生这种转变的前提条件是找出合适的加工条件，同时这也会使磨削表面产生塑性变质层，大量的 研究证实此塑性交质层确实存在，但对其进行深入的研究还未涉及。 本文通过对蓝宝石进行超精密磨削，在保证砂轮电解条件和其他磨削因素不变的情况下分别改变砂轮 单位进给量和砂轮转速进行磨削，得出了单位进给量与磨削表面质量之间的相关性以及脆——塑性转变区 域与砂轮转速的相关性：并讨论了蓝宝石在ELID超精密磨削下实现脆——塑性转变后表面质量，变质层 厚度以及它们的测量方法。 磨削。以下为实验具体数据： 裹l不同单位进鳍量下前寰西疆鞋度 进给速度pm／mirl 1 2 3 4 S I多点测量平均表面粗糙度nm 21．50 28．85 62．05 63．15 77．70 寰2不同砂轮转追下的寰面租鞋度 砂轮转速(r／min) 900 1300 2100 2600 3100 }多点豢《量平均表面糨糙度“m 76．45 56．55 17．95 68j0 69．55 由表中可以看出，在其他因素不变的情况下，加工表面粗糙度随着单位进给量的增加而增大。而在砂 轮转速的改变下，随着脆——塑性转变区域的出现而得出一个比较理想的加工表面。下图是蓝宝石分别在 不同磨削条件下所获得的加工表面粗糙度曲线做的比较： 图中a、b、c三条曲线分别为传统磨削抛光、在脆——塑性转变区域内进行ELID超精磨削进行磨削、 在脆性区域内进行ELID超精密磨削加工出的表面粗糙度曲线。可以看出在脆——塑性的转变区域进行 ELID超精密磨削可以获得理想的表面质量，而且较传统磨削抛光大大提高了加工效率a 图2为砂轮转速在1500r／min下加．上后的表面形貌圈。可以看出，加工表面已经开始出现塑性切削痕 迹，在这一转速条件下，通过对砂轮转速进一步微调来寻找脆——塑性的转变的最佳时机。研究表明，被 贽助璜目：国家高技术研究发展计划(863计划)赍助捌目编号：2003AA305880 联系方式·刘世民，男．(Tel(B-mail]Isrn商vsu，嘲册 2005年国际材料科学与工程学术研讨会论文塞 ——一 !!!!坚!!竺!12型12竺￡!!!!竺竺些塑璺!!!!!!竺!!!型曼!E!竺!皇竖 加工材料在砂轮转速为2100rtmin时出现了理想的脆一塑性的转变，从而获得了比较理想的材料加工表 面。 童 亘 蔓 星