多晶硅电池工艺参数控制的研究.pdfVIP

总第 155期 山 西 化 工 Total155 2015年第 1期 SHANXICHEMICAL INDUSTRY NO．1。2O15 ． · ： ， j … ： 。I 批_ a— ’ 多晶硅电池工艺参数控制的研究 赵燕娇 ， 杨飞飞 ， 王海刚 (山西潞安太阳能科技有 限责任公司，山西 长治 046000) 摘要：对电池片生产过程 中的各工艺参数及测试方法进行了研究，阐述了其对 电池片质量的重要性，为 电池 片过程控制提供 了保证 。 关键词：电池片；少数载流子寿命 ；量子效率；表面复合 中图分类号：TM914．4 11 文献标识码 ：A 文章编号 ：1004—7050(2015)01—0050—05 也是增大的，所以，电导率随着温度 的升高而上升 引 言 (即电阻率下降)。 随着欧盟 、美国对我 国光伏产 品的贸易争端增 室温下：由于施主或受主杂质 已经完全 电离，则 多，我国光伏产业面临的压力 日益增大。在此背景 载流子浓度不变，但迁移率随着温度的升高而降低 ， 之下，如何制造高效率、低成本 的硅太阳能电池成为 所 以，电导率将随着温度 的升高而减小 (即电阻率增 光伏能源领域的主要研究热点。如，提高基体材料 大)。 质量 ；降低表面复合，以增加少子寿命、提高光子利 高温下：本征激发开始起作用 ，载流子浓度将指 用率和电池片的外量子效率 ；通过减少硅片厚度降 数式增大 。虽然这时迁移率仍然随着温度的升高而 低硅太阳电池成本等。如何监控电池片的性能，监 降低 ，但是这种迁移率降低 的作用不如载流子浓度 测哪些工艺参数 ，使用什么样 的方法监测 ，显得尤为 增大得强，所以总的效果是，电导率随着温度的升高 重要。研究电池片工艺参数对效率的影响，有利于更 而上升 (即电阻率下降)。 好地优化参数，为高质量的电池片提供依据和保证。 电阻率的在线检测主要使用非接触式涡流传感 器 ，如 ，Simelab公司生产 的 WMT-5及 WMT一3。 1 电学参数及检测技术 离线检测主要通过接触式原理，如 ，GP4test四探针 1．1 电阻率 测试仪，主要针对硅片属于极薄、厚度 d相对于探 半导体的电阻率代表着半导体 中载流子 的浓 针间距小很多而横 向尺寸为无穷大的样 品。如图 1 度，即施主或受主杂质的浓度 ，它是表征硅片掺杂浓 所示 ，从探针 1流人和从探针 4流出的电流，测 出探 度的一项重要参数 。 针 2和探针 3的电压值 ，则电阻率可表示为式 (1)。 电阻率是电导率的倒数 。电导率的大小取决于 ID一() 孚：=：4．5324·d‘ (1) 半导体载流子浓度 和载流子迁移率 ，即，— nq,u。对于掺杂