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金刚石薄膜在轴承行业的应用研究 张玲 (洛阳轴研科技股份有限公司，洛阳，471039) 捕要：对金刚石薄膜成膜厦应用技术进行研究，探讨全刚石薄膜作为固体润滑膜在轴承行业应 用的可能性。研究认为轴承表面金刚石固体润滑膜宜采用物理气相沉积(PVD)工艺。该工艺沉积 温度较低，镀膜后，不会改变轴承材料组织厦性能，轴承精度基本不受损失。所得到的类金刚石 膜，具有膜面平差光滑、摩擦系数低、耐磨损、耐高温、耐庸蚀、薄膜与基体结合力较强等优良性能， 能够满足特珠工况轴承固体润滑需要。同时进行了空刚石薄膜性能测试与评价技术的研究。 关键词：金刚石；薄膜；轴承行业；应用研究 1 引 言 金刚石薄膜是一种利用气相沉积方法在较大面积或复杂形状零件表面上形成的薄膜，其物 理性能和天然金刚石非常接近，而化学性质则完全相同。金刚石薄膜具有硬度高、摩擦系数低、 抗热冲击、高热导、低热膨胀系数、化学惰性等优异性能，被国际材料界誉为决定2l世纪技术 潜力的战略材料。近年来，金刚石薄膜已成为世界上一些发达国家新技术角逐的重点之一，在 高新技术工业领域有着广泛的应用前景。金刚石薄膜的研制成功和开发利用开创了金刚石各种 优异性能全面技术应用的新时代。通过近十年的应用研究，金刚石薄膜产品已进入实用阶段。 轴承的润滑状态在很大程度上决定着轴承的动态性能和使用寿命。轴承在大部分工况下 利用油、脂进行润滑，但在一些特殊的应用场合如在有水、粉尘、泥浆、腐蚀性溶液中工作， 不允许加润滑油、脂等，特别是在航天、航空工业中的高温、高速、强辐射、高真空等恶劣工 况下，必须利用固体润滑方式对轴承进行有效地润滑。研究表明轴承失效主要发生在材料表 面或次表面区域，因此，表面改性技术在轴承工业发展中起重要作用。 本文通过对金刚石薄膜成膜及应用技术研究，探讨金刚石薄膜在轴承行业应用的可能 性，以开发固体润滑新技术，满足化工、军工、矿山、冶金等行业需求。 2金刚石薄膜成膜工艺的研究 目前国内外研究的金刚石薄膜的沉积方法和装置很多，且发展迅速，新工艺和新装置还 在不断出现。归纳起来，金刚石薄膜沉积方法主要分为两类：一是化学气相沉积(CVD)方 法，二是物理气相沉积(PVD)方法。 2．1 化学气相沉积工艺 化学气相沉积工艺是在高温(950—2000。C)或其他条件下，使原料气体(碳气相组分)发 生离化，生成碳原或甲基原子团等活性粒子，并在一定工艺条件下，沉积在基材(衬底材料) 上，形成金刚石膜。 277 目前，世界各国已发展了十几种化学气相方法制备金刚石薄膜，主要有热丝化学气相 法、微波化学气相法、直流等离子体射流化学气相法、火焰燃烧法、宣流或射频增强化学气 相法、直流弧放电化学气相法和直流弧柱放电化学气相法等”。。这些方法中，应用最多、研 究最多、发展最成熟的是热丝化学气相法。热丝化学气相法沉积金刚石膜工艺具有设备简 单、易于制造、运行成本低、工艺简单等特点，因此被研究者广泛采用。 热丝化学气相法制备金刚石膜装置由真空室、进气布气系统、抽气系统、水冷样品台、 热丝等构成。先将真空室抽成真空，再将热丝加热到1800—2400℃的高温，通入含碳气源和 H：，气体通过热丝时被分解成CH3，C：H：等基团，这些活性基团在800—1000。C的基体上反 应生成金刚石晶核，再生成金刚石膜。 2．2物理气相沉积工艺的研究 物理气相沉积工艺是在较低温度下(室温一400℃)，用物理方法(蒸发、溅射、离子束 等)直接从固态碳源获取碳原子或离子，沉积成膜。 物理气相沉积工艺方法主要有：离子束沉积法、离子束辅助沉积法、射频贱射法、磁控 贱射法、真空阴极电弧沉积法、高强度直流电弧法、激光等离子沉积法及激光弧沉积法等。 物理气相沉积工艺沉积温度较低，沉积面积大，膜面平整光滑，工艺比较成熟，已经在很多 领域得到应用。但是，物理气相沉积工艺得到的基本是含金刚石结构(sP键)的非晶碳膜， Carbon Films，DLC)o 其有诸多与金刚石膜相似的性能，也称类金刚石膜(Diamond—