基于ZEMAX的半导体激光器匀光设计.pdfVIP

第38卷 第4期 激 光 技 术 Vo1．38．No．4 2014年7月 LASER TECHNOL0GY July，2014 文章编号：1001—3806(2014)04．0522—05 基于ZEMAX的半导体激光器匀光设计 黄 珊，邓磊敏，杨 焕 ，段 军 (1．华中科技大学 光学与电子信息学院，武汉430074；2．华中科技大学 武汉光电国家实验室，武汉430074) 摘要：为了满足半导体激光器能量均匀化的应用需求 ，基于ZEMAX光学设计软件设计了一套光束整形匀光 系统。采用非球面镜与倒置柱面镜望远系统的透镜组合对单模半导体激光器进行准直，得到近似高斯圆光斑；在 推导了基模高斯强度分布的匀光投影半径的基础上 ，利用ZEMAX优化得到两个非球面镜组成的匀光透镜组 ，在一 定范围内可获得能量均匀度达96％以上的圆光斑。同时，实现了一个大功率半导体激光器光纤耦合模块的能量匀 化设计，满足对能量匀化要求较高的应用。结果表明，该研究为半导体激光器能量均匀化的应用提供了有效方法。 关键词：光学设计；光束匀化；ZEMAX；半导体激光器 中图分类号：TN248．4；TN202 文献标志码 ：A doi：10．7510／js．issn．1001—3806．2014．04．017 Homogenization design oflaserdiodebasedon ZEM AX HUANGShah。， DENGLeimin ，YANGHuan ，DUAN Jun (1．SchoolofOpticalandElectronicInformation，HuazhongUniversityofScienceandTechnology，Wuhan430074，Chi— na；2．WuhanNationalLaboratoryforOptoelectronics，HuazhongUniversityofScienceandTechnoloyg ，Wuhan430074， China) Abstract：Inordertomeetthebeam homogenizationapplicationrequirementsoflaserdiodes，abeam homogenization shapingsystem wasdesignedwithZEMAX opticaldesignsoftware．A collimationsystem composedofasphericlensesand invertedcylindricallenses telescope system wasused to geta circular Gaussian beam．On the basis ofdeducing homogenizationprojectionradiusoffundamentalmodeGaussianbeams，thetwo—asphericlenshomogenizationsystemwas optimizedwithZEMAX．Thewholesystem canobtainacircularspotwithenergyunifomr ityover96％ atalargerange． Meanwhile，thebeam homogenizationofhighpoweropticalfibercouplemodulewasrealized，whichsatisfiedtheneedsof highunifomr ityinapplications．Thisresearchprovidesaneffectivewayofrthehomogenizationapplicationsoflaserdiodes． Keywords：opticaldesign；beam homogenization；ZEMAX；laserdiode