Nd∶YAG激光器切割硅薄膜太阳能电池的工艺参数研究.pdfVIP

第! 卷# 第! 期 激# # 光# # 技# # 术 2345 ! ，.35 ! $% 年% 月 ’()* +),-.//01 6789 ，$% # # 文章编号：::; !%（$% ）!; $=; = !#$% 激光器切割硅薄膜太阳能电池的工艺参数研究 : : ! $ 刘# 源 ，李正佳 ，吴奇彬 （:5 华中科技大学 激光技术国家重点实验室，武汉=!?= ；$ 5 华中科技大学 光电子工程系，武汉=!?= ） 摘要：结合国内外激光薄膜加工研究结果，从激光与物质相互作用的角度出发，建立激光切割硅薄膜太阳能电池的 柱面坐标理论模型。利用@38A9 ,BC43 法求得多层薄膜结构的光场分布，进一步用有限元法（DE8EA9 949F98A F9AG3H ，I)@ ） 求得柱面坐标下热平衡方程的数值解。得出了能量密度、脉冲形状、重复频率、光斑形状与切割速度以及切割质量之间 的关系。 关键词：激光技术；切割；有限元法；太阳能电池 中图分类号：+0=J# # # 文献标识码：’ ’(’)*+, -. /’+,01+)2 3)*)4’/’*( -. !#$% 2)(’* (+*15106 (121+-0 .124 (-2)* +’22 ! # $%’: ，! ()*’+,- .: ，/# 0.,1.’$ （:5 .BAE38B4 BK3CBD3CL 3D BM9C +9NG8343OL ，-P(+ ，Q7GB8 =!?= ，,GE8B ；$ 5 R9SBCAF98A 3D /SA3;)49NAC38ENM )8OE899CE8O ， -P(+ ，Q7GB8 =!?= ，,GE8B ） $5(/*)+/ ：’8 3SAENB4;AG9CFB4 F3H94 E8 NL4E8HCENB4 N33CHE8BA9 3D S74M9H 4BM9C MNCEKE8O F74AE;4BL9C AGE8 DE4F M34BC N944 F3H749 EM 9MABK4EMG9H5 @38A9 ,BC43 F9AG3H EM 9FS43L9H A3 3KABE8 AG9 4EOGA D4798NE9M CBA9 3D F74AE;4BL9C FBA9CEB45 IE8EA9 949F98A F9AG3H （I)@ ）EM 7M9H A3 M34T9 AG9 G9BA 9U7BAE38 E8 NL4E8HCENB4 N33CHE8BA95 ’8H AG9 N3889NAE38 3D AG9 4BM9C 989COL H98MEAL ，C9S9BAEAE38 DC9U798NL ，AG9 MGBS9 3D S74M9 B8H DBN74B ，MNCEKE8O CBA9 B8H MNCEKE8O U7B4EAL EM 3KABE89H5 7’8 9-*( ：4BM9C A9NG8EU79 ；MNCEKE8O ；DE8EA9 949F98A F9AG3H ；M34BC N944 光切割硅薄膜太阳能电池的二维理论模型，分析多层 引# 言 材料在相变之前的温度场分布，指导.H 1’0 激光器 激光加工相比其它加工方式，具有割线小、切割速 参数的优化设计。 度快、割缝边缘垂直度好、切割时无机械应力等优点。 :; 理论模型与分析 在薄膜太阳能电池加工的过程中，可以利用激光对光 电池的各个层分别进行切割是一道重要工序。最常用