非共轴掠入射KB与KBA X射线显微镜的成像特性分析.pdfVIP

第29卷 第6期 应用光学 Vo1．29 No．6 2008年 11月 JournalofAppliedOptics Nov． 2008 文章编号：1002—2082(2008)06—0884～05 非共轴掠入射KB与KBAX射线显微镜 的成像特性分析 赵玲玲 ，孙德林 (1．鲁东大学 物理与电子工程学院，山东 烟台 264025； 2．鲁东大学 交通学院，山东 烟台 264025) 摘 要 ：由于X射线在介质 中被强烈地吸收，加之介质的折射率在X射线波段略小于1，这些 因 素给x射线成像增加 了很多难度 ，常规的成像方法难以适应X射线波段 ，目前多采用掠入射反射 成像和编码孔径成像方法。详细分析掠入射情况下单镜及双反射镜的成像特性，对组成KBA显微 镜的反射镜在掠入射条件下的焦距、视场倾斜 、光阑位置等进行研究。研究结果表明：对于双反 射镜结构，掠入射角为双反射镜夹角I／2时视场倾斜最少，光阑放在第2个镜子上成像质量优于 放在第1个镜子上。最后分析KBA显微镜结构安排的合理性，从而为KBA显微镜设计和加工提 供 理论依 据 。 关键词 ：X射线成像 ；KBA显微镜 ；掠入射光学系统 ；消像散 系统 中图分类号 ：O434．19 文献标志码 ：A Imagingcharacteristicsfornon—-coaxialgrazing。-incidence KB andKBA X—raymicroscope ZHAO Ling—ling ．SUN De一1in (1．SchoolofPhysicsandElectronicEngineering，LudongUniversity，YantaiChina，264025，China； 2．SchoolofCommunication，LudongUniversity，YantaiChina，264025，China) Abstract：Sincetherefractiveindexofmediain theX—rayregion islowerthan 1andX—rayis strongly absorbed by media，itisvery difficultto image objectsin theX—ray region． Conventionalimagingmethodsarenotsuitabletox—raywaveband．Generally，themethodsof thegrazing—incidencereflective imagingand codingaperture imagingareoften used．Imaging qualityofasinglemirrorandtwomirrorsinthecaseofgrazingincidenceisdiscussed．Thefocal length，fieldobliquity and diaphragm position ofKBA microscopeareanalyzed．Theresults show thatthefieldobliquityistheminimum whenthegrazing—incidentangleishalfoftheangle betweenthetWOmirrors，andtheimagingqualityisbetterwhenthediaphragm isplacedonthe secondmirrorinsteadofthefirstone．ThereasonablestructurearrangementofKBAmicroscope is analyzed． The