Helicon离子源实验研究.pdfVIP

2008 全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集 Helicon 离子源的实验研究 缪婷婷，尚勇，赵红卫，孙良亭，张雪珍 赵环昱，王辉，马保华，李锡霞，朱玉华，冯玉成，李锦玉，刘占稳 （中国科学院近代物理研究所 兰州 730000） 摘要：Helicon 离子源能够产生密度高而均匀的等离子体的特性，在离子源技术，等离子体物理研 究以及航空推进器等方面有着广泛的应用。本文完成了 Helicon 离子源的设计、加工组装及初步 调试，在低功率下起弧的基础上，利用 Langmuir 四探针诊断方法初步研究了 Helicon 源中等离子 体的特性，并进行了离子束引出初步实验，获得了初步数据。 关键词： Helicon 波，等离子体密度，Langmuir 四探针。 0 前 言 Helicon 波是一种右旋极化波，以ω ωω 的频率在轴向磁场中传播。由 Aigrain 在 1960 ci ce 年首先提出用以描述在高电导率的介质中传播的低频电磁波。1970 年 Boswell 等建成了第一台 Helicon 等离子体源，产生的等离子体密度大于 1013cm-3 ，由此发现了 Helicon 波激发放电具有很 高的电离效率[1]。1985 年 F. F. Chen 提出 Helicon 波是通过朗道阻尼的方式加热电子的物理机制 [2]，这一提法得到了 Shoji 和 Boswell 等人的实验验证[3]，现在已为人们普遍接受。90 年代 F. F. Chen 又进一步提出弱 Helicon 波阻尼和强 Trivelpiece-Gould （TG ）波阻尼导致了 Helicon 波放电 产生等离子体的高离化效率的物理机制[4]。到目前为止，虽然对于高频功率耦合到等离子体中的 物理机制仍然没有得到准确的解释[5]，但是它的应用范围日益广泛。 Helicon 源的高密度和高离化率特性，在加速器应用中可作为离子源，在等离子体物理研究中 可用于提供有效的实验手段，在半导体应用中已用于材料加工，超大规模集成电路加工工艺，在 微机械加工以及气体激光器等方面都有广泛的应用[6]。在本课题中，一方面 Helicon 源可用于等 离子体聚焦和等离子体剥离膜的研究，从而代替现在使用的碳膜束流剥离器，提高加速器的束流 品质；另一方面，Helicon 离子源可作为强流离子源，提供强流单电荷态离子束。 1 Helicon 源基本原理 Helicon 波由射频天线激发产生（图 1），在与外加磁场平行的等离子体柱中传播。通常人们 使用 m ＝1 模式的 Helical 半波天线，使电子获得能量，游离工作气体，从而维持高密度等离子体。 Ee B Ees I I Rf R 图 1. Helicon 波放电天线简图 图 2. NagoyaⅢ型天线耦合原理 如图 2 所示为 NagoyaⅢ型天线，当给天线中馈入高频电流后，平行于轴向磁场 B 的射频电 流 I 感应产生横向交变磁场 B 。B 反过来又产生感生电场 Eem ， Eem 在放电过程中会造成电荷分 离，从而形成和等离子体波耦合作用的空间电荷电场 Ees ，在轴向，Eem 和 Ees 方向相反，当达到 平衡时，Eem ＋Ees 几乎为零。在径向，Eem 和 Ees 方向相同并叠加在天线两端产生方向相反的径向 电场。激发出的 Helicon 波俘获并加速等离子体中的电子，使其获得很高的可离化气体分子的能