阴极等离子电解大面积沉积涂层技术.pdfVIP

北京国际高技术中心 BejiingInternationalHighTechnologyCenter DOI：10．3969~．issn．1000—6826．2015．01．21 阴极等离子 电解大面积沉积涂层 技术 CathodePlasmaElectrolyticDepositionwithLargeArea 供稿 叉成，王鹏，邓舜杰，何业东／QUANCheng，WANGPeng，DENGShun~ie，HEYe—dong — — … _ ● ●__t ●_ 。_ -t __●_ _ - ●● _● — — ， _ ●● ●_- — — ● t 口 ● }_ _H● ●_ _ ’，● ● ●●● ●● ● _ ‘ ●● ●- ● ●●● _H -● ●__ ●。● ^— — 内 lI 阴极等离子电解沉积技术是一种先进的涂层制备技术。利用此技术制备的涂层往往具有新的结 } 容 导 构和性能，如涂层的纳米结构、与基体的冶金结合、优异的耐常温腐蚀性能和抗高温氧化性能，并 读 能实现水溶液中难以还原的活泼金属的沉积以及在难熔合金上直接进行沉积等。但是，由于沉积过 程中气膜微弧放电的不均匀性，人们难以通过阴极等离子电解沉积在大面积试样上获得均匀、致密 的涂层 近年来，北京市腐蚀、磨蚀与表面技术重点实验室课题组致力于阴极等离子电解大面积沉 积金属 、合金及陶瓷涂层的研究，并取得了较大的进展。阴极等离子电解沉积技术作为一种绿色环 保的工程技术，阴极等离子电解沉积将具有广阔的应用前景。 等离子电解是存电解过程中电极表面同时发生 弧发生的机理上有很大的不同。阀金属的阳极微弧 微弧等离子放电的一种特殊电解过程。根据等离子体 氧化是当施加的电压大于阳极生成氧化膜的击穿电 产生的电极，等离子电解可分为阳极等离子电解和阴 压时，阳极表面发生等离子体微弧放电。而在阴极 极等离子电解…。阳极等离子电解最典型的应用就是 等离子电解中，阴极表面析 大量氢气泡，随着电 阀金属的阳极微弧氧化，可以用于制备电子薄膜 、陶 压的升高，电流密度上升 ，电极表面氢气泡之间的 瓷涂层、复合氧化膜等I2。】。阴极等离子电解则具有更 电解液被气化，逐渐形成包覆性气膜 ，在高 电压作 广泛的用途，如制备纳米碳管 、类金刚石薄膜 ]，沉 用下发生气膜的电击穿，发生等离子体微弧放电， 积金属、合金及复合涂层5[l，沉积氧化物涂层[，渗 并伴随着阴极表面的电化学反应和化学反应 。传统 碳 、渗氮、渗硼 ，】，进行金属表面清理 ”，等。 的阴极等离子电解沉积装置如图1所示。由于气膜的 易动性 ，阴极表面生成的气膜很不均匀，以及阴极 等离子电解机理 表面电流分布的不均匀性 ，导致容易在阴极 的尖端 阴极等离子电解与阳极等离子电解在等离子微 发生等离子体微弧放电，如图1所示，而且这种在阴 作者 位：北京科技大学，北京市腐蚀、磨蚀与表面技术重点实验室，北京 100083 — 78 2o15年第1期 众副与众等 2015年第 1期 M 目 口 dc，口 口 《(．c 极产生的微弧尺寸 比阳极产生的微弧大得多，这就 图3是普通电解池和双槽结构电解池中阴极等 导致难以在阴极上沉积出均匀、致密的涂层 。文献 离子电解沉积Ni涂层 的电流密度一电压 曲线。由图 报道的阴极等