可调的透明导电膜研究进展.pdfVIP

蔡殉等：可调的透明导电膜研究进展 可调的透明导电膜研究进展木 蔡殉 (上海交通大学材料科学与工程学院，上海200240) 摘要： 简述了透明导电薄膜材料，特别是对目前研 大屏幕、高分辨显示器的问世，低阻的透明导电膜作为 究比较活跃的透明导电氧化物(TcO)及金属基复合透 明导电多层膜的发展现况和趋势；同时从选材、膜层设 导性因其半导体导电机制的关系，其理论最佳电导率为 计、制备方法到工艺制定，研究透明导电膜光电性能诸 多影响因素和规律，探讨ⅨM／D多层膜的微观结构与 限制。何况，铟(hI)在自然界属稀贵金属，其资源稀 其光电性能的内在联系，以及多层膜的热稳定性和界面 缺，IIl矿的品位又很低，生产成本高昂。因此，就迫切 反应等问题，并采用电介质Ti02与金属Ag交替生成 需要寻找光电性能更佳、制造成本更低的透明导电膜。 Ti02，Ag厂ri02三明治结构制备了几种具有优异光电性 在降低氧化物透明导电膜(TCO)的电阻和生产成 能的透明导电膜。经优化设计的纳米多层膜具有奇特的 本方面，尽管后来开发的掺杂的ZnO：础(zA0)、 光电性能可调性，根据需要，用于平面显示器透明电极， 太阳能电池板等的在可见光区具有高的透过率(瓦50≥ 90％)和在红外光区高的反射率阮500≥90％)，其方块电 前为止，所有开发的新型氧化物透明导电膜载流子浓度 阻仅为5剑sq；而用于紫外固化的则在紫外固化的主峰 365nm处具有高的透射率(乃65≥80％)，而在1600nm的 红外波段反射率也超过了90％． 材料。因此，我们认为要进一步降低透明导电薄膜的电 关键词： 氧化物透明导电膜；D／M，D纳米多层膜：光 阻率，提高其光学性能应另辟蹊径。 电性能；微观结构；可调性 从导电的角度，金属导电性好，如Ag和Cu的电 中图分类号：0484．4+l；1M24文献标识码：A 阻率比IrIO的低近两个数量级，然而金属一般只有当其 文章编号： 1001．973l(2007)增刊．0001．06 1 引 言 侧均沉积一层～定厚度d(纳米数量级)的高折射率n 近年来随着平面显示器、太阳能电池、低辐射窗、 和电阻率p的介质膜(D)。从薄膜干涉理论得知，当 电致变色窗、热镜和薄膜电池的发展，均需要透明的导 膜的厚度是入射光在该介质中波长的1，4时，在薄膜两 电薄膜材料。透明导电薄膜不仅应具有很好的导电性 个面上反射光的光程恰好等于半个波长，从而相互干涉 能，还应在特定光波区段内，如在可见光区甚至扩展到 而抵消，这就大大减少了光的反射损失，增强了透射光 紫外光区均具有高的透过率和对红外光波反射性能…。 的强度，起到了增透作用。选择合适的介质，z和d值， 可起到很好的增透作用。因此，利用金属膜的高导电性 20世纪60年代，掺Sn氧化铟薄膜In203：Sn(n’O) 由于具有在可见光区高透射率(～85％)和较低方块电阻和介质膜的增透作用，电介质，金属，电介质(D／M／D) (～10触q)，而且还具有良好的刻蚀性，因此，rrO纳米多层膜中的每层各自发挥其优势，从而使它具有比 作为主要的透明导电材料而被广泛应用。随着国民经济 I．ro更优良的综合光电性能【7曲】。 的迅速发展，人民生活水平不断提高，平面显示器正向 透明导电薄膜不仅具有在可见光区的高透射率，某 大屏幕、高清晰度方向发展，对透明导电薄膜的光电性 些场合下还要求它具有透紫外反红外的功能。众所周 能也提出了更高要求，而平面显示器的可驱动尺寸直接 知，紫外固