光学杠杆法微形变测量中光斑中心求取方法研究.pdfVIP

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2017-08-10 发布于安徽
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光学杠杆法微形变测量中光斑中心求取方法研究.pdf

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⑧}瀚 2007控制科学与工程全国博士生学术论坛 2007年8月光学杠杆法微形变测量中光斑中心求取方法研究吴剑锋1，李建清1，宋爱国1，林保平2 (1东南大学仪器科学与工程学院，210096；2东南大学化学化工学院，210096) 摘要：首先简要介绍了光学杠杆法徼形变测量系统组成及其原理，然后进一步研究了光学杠杆法中的光斑特征及其常有畸变，在此基础上研究了光斑中心求取方法。针对光斑常见的平台畸变和本系统易出现的光斑倾角问题提出了多椭圆环质心法和曲面拟合法相结合的方法，进行光斑中心的求取。理论分析和实验结果表明：该方法能有效消除光斑中心平台、烧孔及衍射孔等畸变，并可以为倾角判断提供依据。关键词：徼形变测量，光学杠杆法，饱和平台，多椭圆环质心法，曲面拟合法中图分类号：TN248 ReSearchOftheMethOdFaCuIaCenter Of Le：＼，er inOpticaI MiCrOStrain MeasUreMethOd Wu Jianfen91，LiJianqin91，SongAigu01，LinBaopin92 SchoolofIrIstmmentScience锄d School aIld (1 Engineering，Soutlle笛tUniverSity，Nanjing210096，China；2ofChemisny Chemical Engineerillg，SoutheastUniversity，Nanjing2l0096，China) Ahstnct． tllemicms仃ainmeaSurc levermetllodh硒beenin仃1)ducedintllis B私edontlIe FirstIy Systcmusingoptical papeL oftIIefacuIacha础cter孤d“s center metllodShavebeenresearched．Thenme 跚alyses distortions，facula ring seel(ing mul“-elIipse cen廿oidmetllod锄dtllesurface methodhavebeencombinedtoresolVedistortionaIld inf．acllla fining plain obliquityproblems ccnter The aIld have thatourmetllodcaneliminatet11e showed distonioIlSoff-acula seeking． tlleory锄aIysisexperiments pIailI， hollow锄ddi胁ction it b武es旬rt11e estimation．