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V01．37红外与激光工程
第37卷第l期 Nol
LaserEn西nee咖g2008年2月
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【lO】
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器测探外红阱子量sAaGlA／sAaG
摘
(昆明北方红外技术股份有限公司探测器中心，云南昆明650215)
【ll】
要：采用n型GaAs／舢GaAs量子阱材料，反应离子刻蚀娅设备进行光栅、像元分割刻蚀，制
【12】
备了320×256格式的长波量子阱红外探测器，像元中心距30斗m，像元光敏面28pm×28岬，两像元
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【13】
能材 【14】 驯暇
料)来提高此类材料的热释电性能。
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