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玻璃深加工
浅析硅铝靶工艺气体流量
对Low—E玻璃钢化前后玻面色差的影响
郭明
(金堆城洛阳节能玻璃有限公司洛阳市471202)
摘要通过实验，详尽分析了硅铝靶使用不同溅射功率、工艺气体流量和氩，氮气比例时，Low-E玻璃钢化前后玻面色差
的变化，指出为了生产高质量可钢化Low—E玻璃，在硅铝靶使用不同的溅射功率时，如何选择最优的工艺气体流量和氩，氮
气比例。
关键词硅铝靶工艺气体流量Low—E玻璃钢化玻面色差溅射功率
中图分类号：TQl71文献标识码：A文章编号：1003—1987f2015)03—0035—05
EffectonColour-differenceofLow-EGlassSubstrateSurfaceBeforeandAfter
ProcessGasFlowofSiliconAluminum
TemperingbyContromngSputtering Target
GuoM啦
Glass
(JinduichengLuoyangEnergysavingCo．，Ltd．，Luoyang,471202)
Abstract：This demonstratesthe ofcolour-differenceofLow-Esubstrate
paperdetailedly change glass
surface andafter theSiliconAluminum flow
before temperingbycontrolling targetsputteringprocessgas
at amethodtoselect flowand Ar
differentloaded rateof and
N2
power,presenting optimalgas appropriate
forSiliconAluminumatdifferent to low—e
target sputtringpowerproducehighqualitytemperedglass．
Words：SiliconAluminum flOW,Low-E of
Key target，processgas
substrate
glass surface，sputteringpower
转阴极，顶层氮化硅使用2个旋转阴极，采用中
0引言 频溅射电源；镍铬和银均为4kW，采用平面阴
单银可钢化Low—E玻璃生产工艺现在已经非常极，直流溅射电源。玻璃传输速度为4m／rain，本
10一Pa。
成熟，其中使用最广泛的生产工艺是在玻璃表面依 底真空度为(1．2～2．4)X
次沉积氮化硅、镍铬、银、镍铬、氮化硅。该工艺
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