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接收光纤的光功率耦合。设发送光纤与接收光纤的距离为a,芯径是2,数值孔径为M,
时(2刀+,为反射光锥的底面积半径),耦合进接收光纤的光功率为零;当da/2T时,
发送光纤和接受光纤的像发出的光锥底端交叠,交叠面积恒为刀2,此时光锥的底面积为
sd≤a/2T时,耦合到接收光纤的光通量由发送光纤的像发出的光锥底面与
亿一2r)/2T
接收光纤相重叠部分的面积决定。接收光纤接收的入射光功率的百分数(即耦合效率)是:
O
,d0—2,.)/2T
墨:,: 哆叫争·(赤y,(口一2州2r≤d≤口/2r公式(1)
e
蟛(割2,da/2T
其中毒为反射系数,而:
2,
万l , , l ,. 1I
口c鱼r,=昙{arcc。sct一手,一c·一手,sin[arcc。sc·一手)]公式c
鱼:—2dT—-a公式(3)
一=一,/0n.~j,
一声翁,芗,
≮菩裂,
\、、 ./o婪芝.
图l 传感器探头光纤结构形式
光骰耦合公式表示距离从零:汽剑以。耦合光功率为零,d.是传感器的北区。从4接收光
纤开始进入光锥.耦合光功率逐渐增办¨。’I,I接收光纤恰好全部进入光锥,耦合光功率丛剑}及
195
值。此时d~=a/2T,输出的光通量最人。当d继续增大时,光斑交叠面积不雨增加,
在后坡接收耦合光功率随距离的二次方下降,‘即距离与接收光通量的关系示意如图2所示。
k
褂
较
≈Ⅱ
醛
db=(a-2r)/2T 距离d
图2距离与耦合光功率的关系曲线
3静态试验研究
采刚幽3所示的激光测量装置进行静态‘卜.异性叶尖间隙的标定测试:I:作,由精密位移
机构带动激光探头按规定步长相对叶尖作垂直运动,获取叶尖与探头间位移和输出信号之间
的对应关系。试验同时还研究了可见光和叶尖反射面等性质的改变对输出信号的影响。其中:
a)试验什分为①48mm的小直径试件和直径为无穷人的平板试什,见示意图4所示:
b)精密何移机构采刚直线电机驱动导轨的高精度1={)=移机仫『,该机构控制系统的步}:=可
精确剑1 u111,位移范隔:0~5mm。
小直径试件
图3激光测繁叶尖间隙示意图 图4试验件示意图
4试验结果和分析
4.1 根据试验获取的原始数据所绘制的平板和小直径试验件住自然光卜.位移与输山信号间
的关系曲线处图5车II图6,从幽中可以看出,一除峰值位置处的曲线形状订所筹别外.所.彳J.的
天系曲线的外形形状‘』l纠2所示的理论响膨曲线基本一致.}ilj除起始误筹后.测蜒数据见有
较耍J,的重复住。
图5平板试件位移与输山的关系曲线 图6小直径试件位移与输出的关系曲线
4.2对所获取的试验数据进行平均井对平均值进行二次函数拟合处理后所获得平均值关系
曲线和拟合关系曲线见图7所示。从图中可以看出:关系曲线光滑且在上升沿和下降沿具有
ram--4.0
严格的单值性,曲线在上升沿O咖~1mm和。F降沿1.6 mm范同内的误著较小,其
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