低能团簇束流制备纳米薄膜的结构与奇特性质.pdfVIP

结合能。图中显见，几乎有一半镉原子被氧捕获，这会使自由载流子浓度变小。我们曾指出f6J， 烧结膜在空气中退火，由于氧化会使晶粒的界面势垒和激活能增大，而使电导率变小。显然 过剩镉的氧化而形成的非化学配比的CdS(Se)膜是影响薄膜光电导性能和老化的主要原因。 o键对应的峰位，膜中氧含量减小(见表1)，使得膜中自由载流子浓度和电导率明显增加， 这已被实验证实16】。但随后晶粒间氧的扩散会重新形成Cd，O键，这正是文献(”，认为存在不 可逆过程的原因。 3 结 沦 喷涂烧结法制备掺铜CdS(Se)光电导膜在空气中老化是由于过剩镉原子的氧化形成了 老化的光电导膜在N，气氛中退火有可能改善其电导性能，这需要退火后接着在s(se)气氛 中重新烧结来完成。 参考文献 l Chen．hoWuandRHBuMJ ApplDhys．】973，45：648 2J PSzzboandMCociveraJ Appl；hys，1987，61：4820 3Y N J StmaokiMatsuno啦aIApplDhys，1995；34：163l Jpn 4G^Somorjai』PhvsChemSolids．1963：24：【7s 5 J HamerskyThinSolidFiLms．1976：32；263 6嚣赋峰、石磊等物理学报．1995：44：266 低能团簇束流制备纳米薄膜的结构和奇特性质 王广厚王朝晔陈平平韩民 固体微结构物理国家重点实验室 南京大学210093 cn 传真025·3300535电子信箱ghwang@nju，edu 摘要低能柬流团簇淀积(LECBD)方法制各多种纳米薄膜，具有一些奇特的结构和性质。本文重点讨论 Te团簇聚集成膜及其同激光相互作用特点。 关键宇低能团簇纳米薄膜 1 引 言 近年来，各种技术如激光烧融、超声膨胀，分子束外延以及团簇柬淀积用于合成尺寸和 维数可控的低维材料。这些材料的电子和光学性质与尺寸、组分和结构有关。Takagi等报道 般有几keV)，因此当它落到村底上时会碰碎成单个原子，在衬底上运动，形成均匀薄膜。 但是，低能团簇柬流制备薄膜却能保持团簇原有一些特性12】。因为在超声膨胀过程中产生的 囝簇能量一般只有几个eV，使团簇一方面可以牢固地粘到衬底上，但由于团蔟内每原子的 能量只有几meV，所以不会破碎，为制备质量高且具有奇特性质的纳米薄膜提供了条件。鉴 于硫化玻璃材料在开关和记忆元件以及光电器件中的应用，使人们更加有兴趣。目前人们虽 然对其各向异性、单向生长特性有所了解口1，但对Te团簇和Te团簇合成薄膜的了解却很少。 我们发现Te团簇成膜与普通蒸发膜完成不同，还观察到在团簇膜原位加热时出现的结构重 排和取向排列。 232 2 实验方法 自行设计的低能团簇束流装置是采用蒸发惰性气体冷凝和超声膨胀得到团簇柬流14j。惰 飞行后淀积到温度为77K的碳膜衬底上，用于电镜分析，膜厚用淀积时间控制。计算机模拟 是假定淀积前的束流团簇尺寸接近于临界尺寸。脉冲光热反应是用YAG激光聚焦到样品 表面测量其能量吸收。观察到在与激光作用过程中团簇构成纳米相与普通膜的特征也完全 不同。 3结果和讨论 上淀积厚度达1．8层，构成三维空间的渗流图。为了检验团簇膜的稳定性，我们将其在电镜 观察下原位加热，发现在温度小于200℃时，团簇仍为随机排列，而当温度升到200C时，n 团簇则趋向排列成有序结构，如图1(b)所示。而原子蒸发的Te膜的结构开始为许多分 散岛状，然后连成两维迷宫状，则如图2所示。但是Te团簇束流淀积膜则有所不同，低能 (衬底为LN温度) 图1