高温超导双外延薄膜界面结构的初步的研究.pdfVIP

高温超导双外延薄膜界面结构的初步研究 古宏伟杨坚马平王俊平陈岚峰李浩刘安生袁冠森 (北京有色金届研究总院，北京，100088) 摘 要 拳文利用x射线衍射、TEM、HRTEM、 3结果与讨论 AES等手段时以STO为基底，以MgO为种子层，以 Ce02为转向层的双外延YBCO超导薄膜的晶界结3．1双外延薄膜取向关系的测定 构进行了初步研究。结果表明：1．CeOz与IV[gO之间 发生了一定程度的扩散，但扩散对其结构没有大的影 利用x射线衍射的双外延薄膜的取向关系进行 响；2．STO上的MgO、Ce0=的生长尽管存在一定程了测定。x射线的。一20衍射结果表明，采用磁控溅射 度的错配，但外延相当好，在MgO的斜坡生长的 法制备的双外延薄膜每一层的晶体学C轴皆垂直于 CeO}存在一定的取向问题；3．结区界面平整，转向明膜面(c取向)。各层膜摇摆曲线的半高宽(表1)表 显。 明，每层膜的c轴取向具有较好的一致性，唯有MgO 关键词薄膜多层膜微结构结 上生长的CeOz的C取向有所发敖，但在其上生长的 YBCO却具有较好的C轴一致性，说明YBCO具有 较强的层状生长能力。 表1各层膜摇摆曲线的半高宽(。) Table1 FWHMofXRD curvesOfthefilms rocking STO 汰 Ceoz／STOMgO／STOCeOz／MgOISTO ～ YBCO 0 8 CeOz MgO0 5 为了对双外延膜进行全定向标定，利用x射线中 扫描对各层膜C平面内的a、b轴的相对取向进行了 测定。在进行雪扫描时首先要选定每一层膜的某一 特殊晶面作为衍射面，对该晶面除了要求对x射线 衍射不消光，有一定的衍射强度和不受其他晶面影响 外，还要求与薄膜平面(a．b面)有较简单的晶体学关 系，从而能较直观地反映出a轴或b轴的情况。按此 双外延超导薄膜的制备是在～套金属密封的高 要求，对STO基底．本文选择(103)晶面作为垂扫描 真空系统中完成的。本文选择SrTiO，(STO)为基底， 衍射面，它与(001)面的交线就代表了STO的b轴方 首先沉积一层S0nm厚的MgO，刻蚀掉一半，再生长 一层40nm的Ce02，然后再外延一层YBCO薄膜。 CO的(209)作为x射线中扫描的衍射面。测试结果 CeO：层将在MgO的刻蚀边缘形成一个晶界，这个晶 界