纳秒脉冲激光对水下靶材的掩模微细刻蚀加工.pdfVIP

第9卷 第2期 纳 米 技 术 与 精 密 工 程 Vo1．9 No．2 2011年 3月 NanotechnologyandPrecisionEngineering Mar． 2Ol1 纳秒脉冲激光对水下靶材的掩模微细刻蚀加工 张朝阳，陈 飞，王耀民，毛卫平，张永康 (江苏大学机械工程学院，镇江 212013) 摘 要：在激光的传输光路中加入掩模板，采用纳秒脉冲激光对水下靶材进行了掩模微细刻蚀加工，与飞秒激光微 细加工相比可显著提高加工效率，加工精度由掩模保证．在所构建的试验 系统中，分别在空气中、纯水中和盐溶液 中进行了加工试验，在水流的作用下，激光辐照的多余热量被带走，加工边缘热影响区明显减小．同时，水下激光辐 照还会在加工区域造成光学击穿，产生等离子体冲击波，在水层的约束限制作用下，加工表现 出了明显的冲击波力 学效应．通过这种热一力学的复合效应，使金属材料表面产生材料去除和变形的加工效果．最终在质量分数为 15％ 的NaNO的溶液中，利用热．力学效应和化学反应的复合作用，实现 了线宽 120 m左右、热影响区小、成形精度较 好的微细刻蚀加工． 关键词：微细加工 ；纳秒脉冲激光；掩模板；等离子体冲击波；热一力学效应 中图分类号：TG665；TN249 文献标志码：A 文章编号：1672-6030(2011)02-0180-05 M ask—IntegratedM icro-EtchingofUnderwaterW orkpiecewith Nanosecond nllseLaser ZHANG Zhao—yang，CHEN Fei，WANG Yao—min，MAOWei-ping，ZHANG Yong—kang (SchoolofMechanicalEngineering，JiangsuUniversity，Zhenjiang212013，China) Abstract：Byintegratingmaskintothetransmitpathoflaser，microcopyofthemaskimageonthework- piecesurfacewasachievedwithnanosecondpulselaserunderwater．Comparedwithfemtoseeondpulse lasermicro—machining，theproposedapproachwassignificantlyhigherinmachining efficiencyand its precisionwasdeterminedbythemask．Intheexperimentalsystem established，nanosecondpulselaser micro．etchingwasemployedintheair，waterandsaltsolution，respectively．Excessheatofthelaserab— lationWastakenawaybywaterflow SOthattheheataffectedzonewasmuchsmaller．Atthesametime， 1aserirradiationunderwaterledtoopticalbreakdownandplasmashockwavein theetchingarea．The shockmechanicaleffectwasremarkableinthemachiningprocessundertheconfineandrestrictionofthe waterlayer．Thetherma1．mechanicalcouplingeffectcontributedtotheetchingandtransfomr ationonsur- face0fthemetalworkpiece，andfinallyintheNaNO1solut